【課題】標準化及び在庫可能な電熱ヒーター１０を提供して、現場における採寸作業をなくし、製造工程を簡略化して納期を短縮する。
【解決手段】電熱ヒーター１０は、シート状の基材、該基材の表面又はその近傍に配列されたヒーター線、及びこれらを収納するヒーターカバーを備える加熱部７０と、断熱材及びこれを収納する断熱材カバーを備える保温部８０とを有する。また、加熱部７０が、鋏などにより切り込み可能な切込部を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の面状発熱体を並べるときに、継ぎ目の部分にはＰＴＣ抵抗体が配置されないため、温度が低下するという課題があり、繋ぎ部の温度低下を抑えた面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】ＰＴＣ抵抗体３を除く一部（面状発熱体１の端部）を折り曲げることによって、ＰＴＣ抵抗体３を設置面積全体に配置することができる。これによって、面状発熱体１の繋ぎ部の温度低下を抑えられ、設置面積に対する発熱部の設置効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】過剰電力が投入された時に、ヒーターの抵抗発熱体間でリークが発生することによる熱応力割れの発生を低減する。
【解決手段】ヒーター１００の複数の抵抗発熱体１０２間に空隙Ｓを形成するように各抵抗発熱体を絶縁層１０４によって被覆する。 （もっと読む）

【課題】
静電チャックなどの半導体ウェーハプロセス機器において、被覆材料内の電気的／機械的応力の集中を緩和し、被覆材料の剥離および／または割れを防止する。
【解決手段】
グラファイトなどの基材と少なくとも一つの電極パターンを有し、当該パターンの溝をＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点金属、遷移金属および希土類金属の群から選択される元素の窒化物、炭化物、窒化物、炭化物または酸窒化物、またはこれらの錯体および／またはこれらの混合体から選択される少なくとも一つの材料を含む絶縁性または半導体材料で充填して実質的に平坦な面を形成し、さらに当該実質的に平坦な面をＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点金属、遷移金属および希土類金属の群から選択される元素の窒化物、炭化物、窒化物、炭化物または酸窒化物、またはこれらの錯体および／またはこれらの混合体から選択される少なくとも一つの材料を含む少なくとも一層の半導体層で被覆する。 （もっと読む）