【課題】 伸縮時と伸張時の荷重変動が無く、レーザー光が導光される領域を遮光することが可能な遮光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の遮光装置は、対象物上を移動可能に構成された前記対象物上にレーザー光を導くための第一光学系と前記第一光学系にレーザー光を導く第二光学系との間の光路を遮光するよう設けられた複数の遮光筒と、前記遮光筒を支持する支持部材と、前記支持部材に設けられた軸受と、を有する遮光装置であって、前記複数の遮光筒は入れ子状に重なり合うよう夫々の内径及び外径が異なっており、前記第一光学系に設けられた軸受と前記支持部に設けられた軸受とは、同じ案内軸に摺動可能に嵌合していることを特徴とする。 （もっと読む）