【課題】地球温暖化現象の原因物質の一つである二酸化炭素を効率良く吸着分離し、さらには、脱着させた二酸化炭素を不用意に系外に排出させてしまうことなく、最終的に効率よく二酸化炭素の排出量を削減することができる新規なシステムを提供する。
【解決手段】酸化アルミニウムを主成分とする粉末からなる吸着剤を、ガス供給口及びガス排出口を有する円筒状または直方体状の吸着容器に充填し、二酸化炭素含有ガスをガス供給口に導入し、吸着容器内で前記吸着剤に二酸化炭素を選択的に吸着させ、ガス排出口から二酸化炭素濃度を減少させたガスを排出させることを特徴とする二酸化炭素吸着システムなどによって提供する。 （もっと読む）

好ましい実施形態では、本発明は、分子状汚染物質に敏感な半導体処理ツールおよび処理に使用される、反応ガス用のガスフィルタを提供する。本発明の反応ガスフィルタは、圧力低下が改善され、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる。本発明の一態様では、本発明は、約０．５リットル以下のフィルタ媒体容積を用いて、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる、圧力低下が改善された反応ガスフィルタを提供する。
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圧力スイング吸着（ＰＳＡ）システムは、複数の第１のＰＳＡモジュールを有するＰＳＡモジュールの第１のグループと、複数の第２のＰＳＡモジュールを有するＰＳＡモジュールの第２のグループとを有している、このシステムは、第１のＰＳＡモジュールと第２のＰＳＡモジュールとに接続された供給ガス用のマニホルドと、生成物用のマニホルドと、廃棄物用のマニホルドとを有している。第１のＰＳＡモジュールの各々は、他の第１のＰＳＡモジュールと同期して第１のＰＳＡサイクルで作動し、第２のＰＳＡモジュールの各々は、他の第２のＰＳＡモジュールと同期して第２のＰＳＡサイクルで作動する。第１のＰＳＡサイクルは、第２のＰＳＡサイクルからずれている。ＰＳＡモジュールは、複数の加圧される吸着チャンバと、入口マニホルドと、出口マニホルドとを備えている。
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特に自動車の内燃機関の燃料タンクから発生する蒸発燃料のための吸着フィルタであって、該吸着フィルタが逆流離脱によって再生可能であって、吸着若しくは離脱性のフィルタ材料が蓄熱物質と協働するようになっている形式のものにおいて、フィルタ材料内で蓄熱性を高めるために、前記蓄熱物質が、相変化材料（７′、７″）（ＰＣＭ材料＝Ｐｈａｓｅ−Ｃｈａｎｇｅ−Ｍａｔｅｒｉａｌ）より成っていて、反応性のフィルタ材料内で小さいユニットに分割されている。
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