【課題】親水性が向上し科学的に安定である親水性基含有フルオロカーボンポリマー組成物が提供されることが望まれている。さらに、そのような組成物が、フルオロカーボンポリマー前駆物質から合成され、架橋されることが可能であることが望まれる。
【解決手段】式：−［Ｒ_ｆ］_ｔ−Ｔ−ＣＨ_２−Ｔ−Ｒ_ｆ”−Ｔ−ＣＨ_２−Ｔ−［Ｒ_ｆ］_ｔ−の親水性官能基を有し、それぞれのＲ_ｆ基を介して式：


のフルオロカーボンポリマー組成物のＣＹと共有結合している架橋フルオロカーボンポリマー組成物（Ａは、フッ素含有重合性モノマー；ｎは０〜２の整数；ｍは１以上の整数；Ｙは水素又はフッ素であり；Ｔはカルボニルであり；Ｒ_ｆはフルオロポリマー基であり親水性官能基を有する前記フルオロカーボンポリマー組成物の別の鎖と任意に結合する）。 （もっと読む）

本発明の電気ピンリード構造とろう付け技術は、半導体基板に良く接着するセンサー内のろう付けリードを提供する一方で、接合疲労または破損のない横柔軟性を容易にする。このアプローチの利点は、単一処理ステップで、ピンリードをダイアフラム（１４）にろう付けすると共に、ダイアフラムを高温ガラスでセラミックバッキングプレートにシールすることができることである。
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水素化物ガスを精製する方法で、少なくとも１種類のランタニド金属またはランタニド金属酸化物を有する材料を使用する。この方法は、汚染物質を１００ｐｐｂ未満に、より好ましくは１０ｐｐｂ未満に、より好ましくは１ｐｐｂ未満に低減する。この材料は、遷移金属および遷移金属酸化物、希土類元素および他の金属酸化物も含むことができる。本発明は、本発明の方法で使用するための材料も含む。 （もっと読む）

リソグラフ投影装置１は、パターン形成装置ＭＡを支持するように構成された支持体と、所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように構成されたパターン形成装置を含む。装置は、基板を保持するように構成された基板Ｗテーブルと、パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムとを有する。また、装置は、リソグラフ投影装置の部品の表面近くにパージガスを供給するように構成されたパージガス供給システム１００も有する。パージガス供給システム１００は、少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生するように構成されたパージガス混合物発生器１２０を含む。パージガス混合物発生器は、パージガスに水分を加えるように構成された加湿器１５０と、パージガス混合物発生器１２０に接続されパージガス混合物を表面近くに供給するように構成されたパージガス混合物出口１３０とを有する。
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本発明は、脱イオン（ＤＩ）水と標準窒素から高純度アンモニア、水素、および窒素を製造するための方法を開示する。脱イオン水を脱ガスし、電解水素発生装置に供給して、原料水素を製造する。この水素を精製し、および精製窒素と混合し、圧縮し、および触媒アンモニア反応器に供給する。精製に続いて、精製水素および精製窒素と一緒にこのアンモニアを半導体加工ツールに送達する。 （もっと読む）

リソグラフィ投影装置（１）はパターニング手段を支持する支持構造を有し、パターニング手段は、所望のパターンに従って投影ビームにパターンを形成する働きをする。装置は、基板を保持する基板テーブル（ＷＴ）、パターン形成したビームを基板の目標部分に投影する投影システム（ＰＬ）、リソグラフィ投影装置の構成要素の表面付近にパージガスを提供するパージガス供給システム（１００）を有する。パージガス混合気生成装置（１２０）は、少なくとも１つのパージガスおよび水分を有するパージガス混合気を生成するように配置構成される。パージガス混合気生成装置（１２０）は、パージガスに水分を加えるように配置構成された加湿器デバイス、および表面付近にパージガス混合気を供給するためにパージガス混合気生成装置に接続されたパージガス混合気出口（１３０〜１３３）を有する。 （もっと読む）

本発明は、デバイスの中の表面からのいくつかの分子汚染物質の除去方法を開示する。酸素および／または水を含有するパージガスが、デバイスの内部に導入され、内面の少なくとも一部分と接触する。汚染されたパージガスは、汚染の一部分を、内面からパージガス中に移動させることによって生成される。この汚染されたパージガスは、デバイスから除去され、このプロセスは、汚染されたパージガス中の汚染物質濃度が、所定のレベル以下になるまで続行される。 （もっと読む）

構成部品（３６）上の液体が、比較的平坦な水滴またはシートの表面に密接に付着するよう、改良された親液性を有する表面を備えた燃料電池構成部品（３６）。親液性表面は、構成部品（３６）の表面上に、本質的に親液性のポリマ（３８）の薄い層を備えて成ることができる。親液性表面は、バイポーラプレートの流路壁表面や、膜電極アセンブリなどの構成部品（３６）の重要領域上に選択的に設けられ得、それにより、燃料電池の動作中に流路の液体封鎖を抑制する。
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１気圧以上の液圧において超撥水性を保持できる耐久性のある超撥水性表面。表面は突出する規則的形状のマイクロ規模またはナノ規模の多数の突出部を備える基板部分を含み、突出部は概ね、下式にしたがって決定される接触線密度値“Λ_Ｌ”と等しいか高い平方メートルでの表面積あたりのメートルでの接触線で測定される所定の接触線密度を表面が有するように配置されており、


同式において、γは液体のニュートン／メートルでの表面張力であり、θ_ａ，０は実験測定による突出部材料に対する液体の真の前進接触角（度）であり、ωは突出部立上り角（度）である。
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より有効なトレイキャリアのクリーニングおよび乾燥を促進するための超撥水性表面を備えるトレイキャリアである。本発明では、トレイキャリアの表面全体または表面の一部が超撥水性にされる。トレイキャリアの超撥水性表面により、クリーニングで使用される場合に表面と接触する液体は、液膜またはかなりの量の液滴を残さずに、急速かつ容易に「転がり落ちる」。その結果、表面の乾燥に費やされる時間や労力は少なくなり、再付着する残留物が最小となる。それにより、全体的な処理の質を向上させるとともに、トレイキャリアの経済的な再利用を容易にする。そのうえ、超撥水性表面は、汚染物質が液体または蒸気の形の場合、汚染物質の初期付着に耐性がある。
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