【課題】水素ガスを循環しながらトリクロロシランを反応器に供給して反応器内にシリコンを生成させるシリコン製造プロセスにおいて、排出される水素ガス中に含まれるトリクロロシランなどの凝縮による漏洩や、ガスの組成変動による温度上昇による不都合が有効に解消され、シリコンの製造を連続して安定に行う。
【解決手段】水素ガスを反応器に循環して連続供給すると同時にトリクロロシランを該反応器に供給し、該反応器内での反応によりシリコンを生成せしめるシリコン製造プロセスにおいて、水素ガスの循環供給を、コンプレッサーを用いて行い、循環される水素ガスに含まれる塩化水素ガスを吸着処理により除去すると共に、水素ガスに含まれる他のガス成分を、コンプレッサーの上流側での低圧深冷及びコンプレッサーの下流側での高圧深冷により除去する。 （もっと読む）

【課題】低温空気分離ユニットにおけるＬＮＧベース液化装置の能力増強のためのシステムの提供。
【解決手段】本システムにおいて、低生産モードでは、ＬＮＧベース液化装置に供給される窒素が蒸留カラムシステムからの少なくとも一部の高圧力窒素のみからなり、一方高生産モードでは、補助コンプレッサーを使用して蒸留カラムシステムからの少なくとも一部の低圧力窒素を昇圧しＬＮＧベース液化装置への追加的な（又は置換する）供給を行う。本発明の鍵は補助コンプレッサーであり、且つ関連する熱交換器はＬＮＧベース液化装置とは離れていて且つ別個のものである。このため能力増強が現実に必要になるまで、機器の購入を遅らせることが可能であり、それゆえに液化製品需要の見込み増加に基づいた過大な液化装置の建造を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】 粗アルゴン圧縮機等の付帯設備を設けるまでもなく、高圧の粗アルゴンをアルゴン精製装置、精製アルゴン塔に供給することを可能ならしめる深冷空気分離装置によるアルゴン製造方法を提供する。
【解決手段】 粗アルゴン塔８から抜出した粗アルゴンをアルゴン精製装置１０に導入するに際して、前記粗アルゴン塔８の粗アルゴン抜出し口８ｂから液体粗アルゴンを抜出すと共に、粗アルゴン抜出しライン９を介して主熱交換器２に導入して蒸発させ、蒸発した粗アルゴンを常温になるまで加温する。 （もっと読む）