【課題】携帯用途に適合し、吐出息から粒子の抽出が可能であり、かつ、エネルギ消費が抑制されている装置、また、その後の分析のため、吐出息によって搬送される病原体を静電捕集するための装置を提供する。
【解決手段】吐出息から粒子を抽出するための装置である。当該装置は、吐出息に含まれる水蒸気の凝縮によって液滴を生成するための冷却システム（１６）、グリッド形状を有しかつ出口開口部（９）に向かって収斂している側壁（２）が設けられ、前記側壁（２）に向かって引きつけられる液滴が、後者に沿って前記出口開口部（９）に向かって流れることを許容する液滴回収ユニット（７）、および、前記液滴回収ユニット（７）の内部に取り付けられる放電極（１）を有する。また、前記液滴回収ユニット（７）の側壁（２）は、前記放電極（１）に対する対電極を定義し、吐出息によって搬送される粒子を捕集する液滴を、前記側壁（２）に向かって引きつける。 （もっと読む）

【課題】装置のランニングコストを実質的に上昇させることなく、集塵室が内部に設けられた集塵手段を構成する部材の硫酸腐蝕を効果的に抑制する。
【解決手段】電気集塵装置１６では、コントローラ９０が、非集塵空間Ｄにおける複数の測温部位にそれぞれ配置された温度センサ１０６から出力される温度検出信号に基づいて、温度センサ１０６に対応する挿入管１１４Ａ〜１１４Ｄを通して、集塵室７０内へ供給される冷却排ガスの供給量を流量調整ダンパ１１６により調整する。これにより、複数の測温部位を含む温度制御領域を冷却排ガスにより昇温し、焼結排ガスの露点よりも高温に保つことができるので、酸腐蝕の発生を効果的に防止できる。 （もっと読む）

本発明の試料気体収集方法は、閉鎖可能な容器１０１と、前記容器の一端に設けられた注入口１０２と、前記容器の他端に設けられた排出口１０３と、前記容器の内部に設けられた霧化電極部１０４と、前記霧化電極部の近傍に設けられた第一冷却部１０５と、前記容器の内部に設けられた対向電極部１０６と、前記対向電極の近傍に設けられた針状の収集電極部１０７と、前記収集電極部の近傍に設けられた第二冷却部１０８を備える。
前記試料気体は、冷却凝縮された後、帯電微粒子化される。帯電微粒子化された試料気体は前記収集電極部１０７へ静電気力により収集された後、冷却凝縮される。以上の方法により収集電極上での溶液の広がりを抑制できる。
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【課題】気体の供給効率を低下させることなく、微細粒子を大きさに関わりなく除去することができる気体清浄化装置を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０におけるローダーモジュール１４は、搬送室１５の内部空間に大気の下降流を形成するファンフィルタユニット２０を備え、該ファンフィルタユニット２０は、大気流を生じさせるファン２１と、大気流に混在するパーティクルを捕捉して除去する、網状構造体からなるフィルタ２２と、ファン２１及びフィルタ２２の間に配される照射ヒータ２３とを備え、さらに、大気流上に位置し且つフィルタ２２よりも温度が高い高温部２４を備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄液による吸着プレートの洗浄から再稼働までの時間を短縮し、さらに稼働率を向上させることの可能な電気集塵器を提供することを課題とする。
【解決手段】電気集塵器１は、ハウジング１２、気流発生部１６、複数の吸着プレート５を有する捕集部２２、複数の放電電極部３を有する放電部３０、放電電圧供給部、洗浄液を噴射する吸着面洗浄部３６、及び洗浄後の吸着プレート５等を乾燥させる乾燥制御部とを主に具備して構成されている。乾燥制御部は、洗浄液で濡れた吸着プレート５に対し、予め設定された短い単位時間だけ放電電圧を供給し、その際に発生するスパーク等の熱により、洗浄液を徐々に蒸発させ、最終的に開始基準電圧値を実測電圧値が超えた場合、コロナ放電ＣＤを発生可能な放電電圧を連続的に供給する制御を行う。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって非常に高い粒子収集効率を維持する加温機能を備えた給気ターミナルを提供する。
【解決手段】上流側の粒子帯電ユニットと下流側に配置された粒子コレクタユニットから成り、粒子コレクタユニットが流れの方向に平行に配置された二つのグループのプレート状素子２０，２０’を含み、第１のグループのプレート状素子がアースに接続され、第２のグループのプレート状素子が他の部分及び第１のグループのプレート状素子に対して電気的に絶縁され、プレート状素子が１×１０²Ωcmから１×１０⁸Ωcmまでの体積固有抵抗率を有する非吸湿性重合体材料から成る静電フィルタ装置を備え、更に、プレート状素子を含む第１のゾーン１０の一端側に抵抗加熱に適した導電性プラスチックが配置された第３のゾーンを形成する。 （もっと読む）

【課題】高い効率で、１０ｎｍ〜１０μｍの間に含まれる液体または固体の粒子の回収を、携帯使用に適したエネルギーと物質の消費量で可能にするシステムを提供する
【解決手段】半湿式静電収集による装置で、放電電極（１）と対向電極（２）とを囲繞するイオン化気体の溜まりからイオン流を発生させるための放電電極（１）を備えるチャンバ（７）と、液体または固体の粒子を含む抽出する空気とエアロゾルとの混合物のための入口（３）と、蒸気流入管（８）と浄化済み空気の出口（４）とから成り、全長に渡って放電電極（１）を囲繞する蒸気カバー（１０）を形成するように、放電電極（１）と対向電極（２）との間の空間内に前記蒸気流入管（８）から蒸気を導入することで、処理済み空気が蒸気に飽和しないようにする。 （もっと読む）

【課題】 空気中の微粒子に付着した雑菌を死滅させて空気を清浄化することができる温風暖房装置を提供すること。
【解決手段】 第１空気吸入口１６及び温風吹出し口１２を有する装置ハウジング２と、第１空気吸入口１６から吸入された空気を温風吹出し口１２に導くための空気流路１８と、高温空気を発生させるための加熱手段６と、加熱手段６からの高温空気を空気流路１８に合流させるための高温空気流路５６と、第１空気吸入口から吸入した空気を高温空気と合流させて温風吹出し口１２から吹き出すためのための送風手段８と、を備えた温風暖房装置。空気流路１８の第１流路部４２には、空気中の微粒子を特定極性に帯電させるための第１帯電手段４８が設けられ、空気流路１８と高温空気流路５６との合流部４４には特定極性と反対極性の電場を付与するための第１電極部６２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、効率よくミストを気体から容易に分離し回収することができるミストコレクタおよびミスト分離回収方法を提供する。
【解決手段】 本発明のミストコレクタ５は、管路７が接続されるケーシング５０と、このケーシング５０内に設けられた放電極５１および集塵極５２と、集塵極５２を冷却する冷却手段５３と、集塵極５２に吸着され液化したミストを回収するドレン５４と、を備えている。空気中に含まれるオイルミストは、放電により集塵極５２に吸着されるとともに、冷却された集塵極５２で飽和温度以下に冷却されて確実に効率よく液化し、ドレンパイプ５４ａからケーシング５０外に排出され回収される。 （もっと読む）

コロナ放電装置（２０１）の動作方法は、少なくとも１個のコロナ電極（２０２）のすぐ近傍に高強度電界を生成するステップと、コロナ電極（２０２）に形成された酸化物層のような、不純物の望ましくない影響を緩和するのに十分な温度に、低圧電源（２０８）によりコロナ電極（２０２）を連続的にまたは周期的に加熱するステップとを含む。
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