【課題】シート状のフィルタを用いた濾過器であって、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保し、フィルタの濾過精度を低下させることなく濾過流量を増やして送液に要する時間を短縮できる濾過器、およびこれを備えた塗布装置。
【解決手段】 流体の流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、
流体の流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、
ならびに、前記流入室と前記流出室を区画するよう配置されるシート状のフィルタを有する濾過器であって、
前記フィルタの流出側に、フィルタ側の面から流出側の面まで通じる複数の貫通口を有するフィルタ支持手段を配置し、
該フィルタ支持手段は、フィルタ側に配され、流体を前記フィルタに平行な方向に拡散するための拡散層、および流出側に配され、該拡散層を介してフィルタを支持するための支持層からなることを特徴とする濾過器。 （もっと読む）

【課題】耐圧性能が不十分なクリーンなろ過容器であっても高圧の被処理流体のろ過にそのまま使用することができるとともに、ろ過容器の交換又はメンテナンスがしやすいろ過装置およびそれを用いたろ過方法を提供すること。
【解決手段】ろ材と、このろ材を内部に配置し、高圧の被処理流体の第１流入ラインＡ及び排出ラインＣが接続されたろ過容器１２とを備えたろ過装置１０であって、ろ過容器１２を内部に配置し、高圧流体の第２流入ラインＢが接続された圧力容器１１をさらに備え、第１流入ラインＡから被処理流体をろ過容器１２に流通させるとともに第２流入ラインＢから圧力容器１１に高圧流体を流入させてろ過容器１２を外側から加圧可能に形成した。 （もっと読む）

【課題】従来の異物除去率を維持し、ろ過ハウジング内に残留するろ過用原溶液が少なく、高い生産性を有し、フィルタカートリッジの交換が容易である電子材料用組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】３つの第一連通口を有する第一固定部材２１と、相互に平行に配置され、第一連通口に、長手方向の一方の端部が連結された３つのろ過ユニット４０と、を備え、ろ過ユニット４０は、長手方向の少なくとも一方の端面に貫通孔が形成された略柱状のろ過ハウジング４１と、ろ過ハウジング４１内に配置され、フィルタを有する略柱状のフィルタカートリッジ４２と、をそれぞれ一つずつ備える電子材料用組成物用のろ過器２０。 （もっと読む）

【課題】シート状のフィルタを用いた濾過器であって、高粘度の塗液を短時間で濾過する場合でも該濾過器の持つ濾過性能を維持したままでフィルタやそれに隣接するスクリーンの変形を防止し、新たなパーティクルを発生しない濾過器、およびこれを備えた塗布装置。
【解決手段】流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、ならびに、前記流入ハウジングと前記流出ハウジングに挟みこまれるように配置されるシート状のフィルタとを具備する濾過器であって、前記流入室内または前記流出室内に、該フィルタを該フィルタと垂直方向に支持する支持機構と、弾性機能により前記流入室内または前記流出室内における自己の位置を規制する保持機構とを有する支持保持具を具備することを特徴とする濾過器、およびこれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】この発明は、フィルターの目詰まりを長期に亘って抑制できメンテナンスの回数を減少できるフィルター装置、およびこのフィルター装置を備えたパターン形成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】フィルター装置１０５は、略円筒形のメッシュフィルター１１１、このフィルター１１１を収容したハウジング１１２、およびハウジング１１２の外側に接着固定された複数の超音波振動子１１３、１１４、１１５、１１６を有する。メッシュフィルター１１１は、接地されている。 （もっと読む）

【課題】 冷却水フィルタユニット及び被冷却装置に関し、フィルタ詰まりが発生した場合に被冷却装置の停止を防止するとともに、メンテナンス作業を容易にする。
【解決手段】 冷却水フィルタ２及び水圧計３を備えた冷却水供給経路４に、冷却水フィルタ５を備えた冷却水バイパス経路６をバイパス経路開放手段７を介して接続するとともに、水圧計３の検出出力が予め設定した圧力を超えた場合に、バイパス経路開放手段７に開放動作を行わせる信号を出力するバイパス経路開放制御手段８を備える。 （もっと読む）