【課題】密着性のよい強固な膜状構造物をえるための、エアロゾル中の微粒子が、ある特定の方向に拡散しないような構造のノズルと、構造物形成方法および構造物形成装置を提供する。
【解決手段】ガス中に分散させた脆性材料微粒子を含むエアロゾルをノズルより基材６に向けて吹き付けることによって前記脆性材料微粒子を構成材料として含む構造物を基材上に形成するエアロゾルデポジション法による複合構造物作製装置に用いるノズルであって、前記ノズルと製膜対象となる基材６との間の、前記ノズルから吐出されるガスが膨張する少なくとも一部の場所に、エアロゾル吐出方向に略平行となるように障壁５２を設けたノズル。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エアロゾル中の微粒子濃度をより安定させることができ、かつ安定した状態を長時間にわたり維持することができる粒子群、複合構造物形成方法、および形成システムを提供する。
【解決手段】エアロゾルデポジション法に用いる粒子群であって、前記粒子群は、複数の脆性材料微粒子を含む微粒子を固めた集合体であり、前記粒子群のスパチュラ角が４６．２°以下であること、を特徴とする粒子群が提供される。 （もっと読む）

液体の霧化方法及び装置が開示される。液体ジェットを高温接触面、特に逸らせ面に当てて液体の一部が気化されるようにする。気化しなかった液体を、エーロゾルを形成する小滴の状態に霧化する。かかる装置の製造方法も又、開示される。
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