本発明は以下の工程を包含する分離プロセスに関する：（ｉ）少なくとも１種類の望ましい成分と少なくとも１種類の望ましくない成分を包含する気相混合物を凝縮装置に導入する工程、（ｉｉ）熱伝達ガスを用いて同凝縮装置の温度を制御する工程、および（ｉｉｉ）同凝縮装置を同気相混合物の少なくとも一部を選択的に凝縮するに十分な温度および圧力で運転し、それにより少なくとも１種類の同望ましい成分を含有する回収物を生成する工程。同分離プロセスは、例えば化学気相蒸着プロセスあるいは原子層蒸着プロセスでの未反応有機金属化合物の回収のような半導体製造のための適用に特に有用である。
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【課題】
ＭＯＣＶＤ排ガス中に含まれる固体成分を効率的に捕集し、かつ配管詰まりが生じにくい固体除去装置ないし煤トラップを提供する。
【解決手段】
気体中に含まれる少なくとも一つの成分の固化物を付着する部分を有する気体を流通する固体除去装置であって、必要に応じて、前記気体中に含まれる少なくとも一つの成分が固化する温度以下に気体を冷却する手段を備えるとともに、該固体装置内での気体の流路が屈曲を繰り返す構造とする。 （もっと読む）