【課題】トラップ機能とバイパス機能とを有する小型のトラップ装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板を処理するためのガスを導入するためのガス供給部が接続されているチャンバーと、前記チャンバー内のガスを排気するための排気部との間に設けられたトラップ装置５０であって、前記チャンバーと接続される吸入口５２と、前記排気部と接続される排出口５３と、第１の空間５７を有するバイパス部５１と、前記ガスに含まれる未反応成分を冷却して凝固させて除去する第２の空間６１を有する冷却トラップ部６０と、を有し、前記ガスは、第１の状態では前記第１の空間５７を介し流れ、第２の状態では前記第２の空間６１を介し流れるものであって、前記冷却トラップ部６０に対し第１の流路５５及び第２の流路５６を、回転部５４により相対的に移動させることにより、前記第１の状態と前記第２の状態とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

本明細書には、バイオリアクターに入る、またはバイオリアクターを出る湿ったガス流中の水分を凝縮するためのシステムおよび方法が開示され、そのシステムは、流体を保持することができる凝縮容器を含み、凝縮容器は：外壁面および内壁面を含み、内壁面は、流体を保持するための内部チャンバーを確定し；および凝縮容器は、さらに、凝縮容器の外壁面へ付けられた第１備品を含み、第１備品は、湿ったガス流が第１ポートを通って、内部チャンバーへ流れることを可能にするように構成された第１ポートを形成し；前記凝縮容器は、さらに、凝縮容器の外壁面へ付けられた第２備品を含み、第２備品は、乾いたガスが内部チャンバーから流れ、第２ポートから流れ出ることを可能にするように構成された第２ポートを形成し；および、前記システムは、さらに、凝縮容器の外壁面の少なくとも一部分に接し、凝縮容器の外壁面の少なくとも一部分を冷却するように配置された冷却装置を含み、それによって、湿ったガス流の水分を凝縮し、そしてバイオリアクターに入る、またはバイオリアクターを出るための乾燥したガス流を形成する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプにより真空熱処理炉内を減圧するための排気装置であって、排気管路に外気が侵入して爆発事故を起こすようなおそれを無くし、安全性を向上させる。
【解決手段】真空熱処理炉１の排気管路９ａ，９ｂ，９ｃに接続した真空ポンプ１７，１８により該真空熱処理炉内１を減圧する真空熱処理炉の排気装置において、排気管路９ｃの大気放出側端部に圧力調節弁２７を設け、前記真空ポンプ１８下流側の前記排気管路９ｃ内の圧力を大気圧よりも高く保つようにする。また、排気管路９ｃに蒸発油を捕集するトラップ１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス性を向上するとともに、反応生成物の捕捉効率を向上する。
【解決手段】 基板を処理する処理室と、前記処理室に処理ガスを供給するガス供給管ラインと、前記処理室からの排気ガスを排気するガス排気ラインと、ガス排気ラインの途中に設けられ排気ガスに含まれる成分を除去する排気トラップ３００であって、少なくとも排気ラインに装着されるケース３１０と、ケース開口部を閉塞する蓋体３３１と、排気ガスに含まれる成分を捕集する捕集体３４３と、前記蓋体３３１に設けられ前記捕集体３４３を支持する中空支持体と、前記蓋体３３１外側から前記蓋体３３１を貫通し前記中空支持体内に至るように配置されるヒートパイプ３４５とで構成される排気トラップ３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】トラップ容器を真空処理装置と主排気ポンプの間に配置したままで、冷却パネル及び冷凍機の取り外しを可能にする。
【解決手段】クライオトラップ１は、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネル６と、冷却パネル６を冷却する冷凍機２とを有する冷却ユニットがトラップ容器７に支持され、トラップ容器７を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合される。トラップ容器７の開口部１３から冷却ユニットの冷却パネル部分を連結管内へはめ込み、トラップ容器７を真空処理装置と主排気ポンプとの間に接続したまま、冷却ユニットを分離可能とした。 （もっと読む）

【課題】真空乾燥装置における蒸気凝結器を、伝熱性能の向上、冷媒と凝結面の真空蒸気との伝達温度差損失の低減、同時に冷媒蒸発円管の核沸騰熱伝達係数と循環熱媒体の境膜伝熱係数の増大が達成でき、良い伝熱性能と高効率蒸気凝結能力を持つようにする。
【解決手段】真空乾燥装置の蒸気凝結器の、冷媒蒸発円管を、平滑管から内面溝付き円管に変更して、扁平な楕円管に変形加工し、一対の扁平面の一方または両方を、熱媒液体の通路の内壁面に密着する状態として前記通路内に装入し、冷媒蒸発楕円管と蒸気凝結プレート内の熱媒液体の通路の内壁面との密着面積を増大させ、かつ、液体の通路内に装入した冷媒蒸発楕円管に沿って等間隔に乱流を起こす棒を取り付けて、冷媒蒸発楕円管外表面の層流を擾乱して熱媒液体の対流境膜伝熱を促進する。 （もっと読む）

【課題】トラップ缶の開口部に設けたシール部材が結露・結氷することを防止し、真空漏れなどの発生を防止することができる冷却トラップ装置を提供する。
【解決手段】缶体周壁に冷媒流路１９を備えたトラップ缶１１の上部外周に取り付けた環状シール部材１２にコードヒータ１７を設ける。環状シール部材１２は、トラップ缶１１に嵌着される嵌着部１２ａと、キャビネット１３の天板１３ａに密着する密着部１２ｂと、トラップ缶１１の上部開口１１ａと蓋部材１４とを気密にシールするシール部１２ｃとを備え、嵌着部１２ａにコードヒータを装着する環状装着溝１２ｄを形成する。コードヒータ１７を複数回巻回するときには、上下に隣接するコードヒータの間にシリコン等からなる紐状体２０を配設する。また、冷媒流路から流出するホットガスの温度を検出し、検出温度に応じてホットガスの供給を制御する温度制御手段を設ける。 （もっと読む）

半導体製造工程の反応副産物を捕集する装置が設けられ、本装置は、薄膜の蒸着及び食刻工程でプロセスチャンバから発生される反応副産物が真空ポンプに吸入されることを積極的に遮断しながら反応副産物が実際に捕集される有効面積を最大化することによって反応副産物の捕集効果及び捕集容量を増大させ、それにより捕集された反応副産物を容易に除去することができる。本装置は、内部収容空間を有する中空のハウジングと、プロセスチャンバとハウジングとを連結する第１連結管と、真空ポンプとハウジングとを連結し、ハウジングの底面から内部に伸長して突出する突出部を含む第２連結管と、ハウジング内部に配置され第１連結管を介して流れ込む反応副産物を冷却する冷却要素と、ハウジング内部に複数層形状で配置され反応副産物が積層される捕集プレートとを含む。 （もっと読む）

【課題】 海水の加熱時における加熱効率を低下させることなく、しかも加熱による突沸を抑えることができ、さらに、海水（特に海洋深層水）に豊富なミネラル成分や旨み成分を損なうことなく、不純物や硫酸カルシウムなどの生成を抑えることができる海水の濃縮装置及び濃縮方法とこれにより得られる濃縮水を提供すること。
【解決手段】 本発明の海水の濃縮装置は、加熱処理される海水を保持する濃縮槽２と、水を利用した加熱処理に必要な熱源が供給される熱源室３と、を有する海水の濃縮装置であって、前記熱源室３が伝熱壁を介して前記濃縮槽２の外周或いは槽内に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高める真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用排気システムを提供する。
【解決手段】成膜室１０と成膜室１０の内部を排気する排気手段２との間の排気流路７ｃ内に磁界を発生させるようにして排気流路７ｃの内部に配置された１以上の永久磁石１ａと、永久磁石１ａの近傍に配置され、冷媒を流通させて排気流路７ｃを流通する排気中の水分子を冷媒配管１ｂに凝結させて除去する冷媒配管１ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ＭＯＣＶＤ排ガス中に含まれる固体成分を効率的に捕集し、かつ配管詰まりが生じにくい固体除去装置ないし煤トラップを提供する。
【解決手段】
気体中に含まれる少なくとも一つの成分の固化物を付着する部分を有する気体を流通する固体除去装置であって、必要に応じて、前記気体中に含まれる少なくとも一つの成分が固化する温度以下に気体を冷却する手段を備えるとともに、該固体装置内での気体の流路が屈曲を繰り返す構造とする。 （もっと読む）