【課題】圧力が、要素モータポンプを反復することによって得られ、反復によって任意所望の圧力を得ることができる高圧・多チャンバを提供する。
【解決手段】幾つかの水準を含み、水準の間に「モータポンプ」が配置される。各チャンバには、その内部分の中に、「モータポンプ」またはポンピングシステムを有する別のチャンバが内部分に向かって配置されており、第３のチャンバそして次のチャンバと、そのポンピングシステムを有するチャンバが内部分に向かって配置される。 （もっと読む）