蒸発水分配プラントは、少なくとも１つの供給コレクタ(13)と、一連のノズル(14)を備えたノズルホルダランプ(15)とを有する。蒸発水分配プラントには、少なくとも１つの供給コレクタ(13)に対するノズルホルダランプ(15)の組立て及び密封と、ノズルホルダランプ(15)に対するノズル(14)の組立て及び密封の両方のための締結具(18,24)が設けられ、密封は、ワッシャ(22,27)を介在して行われる。蒸発水分配プラントの寸法及び形態は、蒸発チャンバ内の使用とプラントの上流に設置された供給ポンプの機能特性とによって課される作動条件に耐え得るものである。
（もっと読む）

【課題】搬送される被処理基板に対しスプレーノズルから現像液を噴射して現像処理を行う際、被処理基板の幅方向の現像液量を均一化するために、被処理基板端部に配設されたスプレーノズルの口径を中央部に配設されたスプレーノズル口径よりも大きくした現像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理基板を搬送する搬送コンベア１１と、被処理基板搬入手段１０と、現像処理槽２０と、リンス・水洗槽３０と、被処理基板搬出手段４０とから構成されており、現像処理槽２０は、現像液を噴射する標準ノズル２１が所定個数取り付けられたマニホールドが被処理基板の幅方向に所定本数配置されており、両サイドの少なくとも１本のマニホールドに異口径ノズル２１ａを所定個数配置することにより、被処理基板５１の幅方向の現像液量を均一化したものである。 （もっと読む）

【課題】流動体を噴射する噴射装置の取付位置を決定する際に、流動体の噴射対象となる構造体に対し噴射装置が適切に配置されているか否かを容易に判断することを可能とする装置や方法などを提供すること。
【解決手段】噴射装置により噴射される流動体の噴射面と流動体が噴射される構造体の表面との交線により形成される境界線を、境界線上に存する複数の点における噴射面と表面との角度の大きさに基づいて、異なる線種で表示する。 （もっと読む）

【課題】大物部品等の被塗装物を塗装するにあたり、塗料使用量の低減、塗装時間の短縮、人による作業工数の削減、更には、塗装の高品質化を図るのに適する被塗装物塗装方法、及び、これに使用できる塗装用の被塗装物回転装置を提供する。
【解決手段】軸心Ｐ１の回りで回転可能な回転軸２と回転軸２の周りに周方向において間隔を隔てて配置された複数個の被塗装物保持部３とが設けられている。断面で、肉厚寸法部４ａと肉厚寸法部４ａよりも長い伸長寸法部４ｃとをもつ偏平断面形状を備える被塗装物４を用いる。被塗装物４を被塗装物回転装置１の各被塗装物保持部３に保持する。回転軸２の軸心Ｐ１の周りの円周軌跡ＰＡに沿って被塗装物４の伸長寸法部４ｃを沿わせることを維持しつつ、被塗装物回転装置１の回転軸２を回転させることにより、回転軸２の軸心Ｐ１の周りで被塗装物４を円周軌跡ＰＡに沿って回転させる。回転時に、円周軌跡ＰＡの外側の塗料放出部６から被塗装物４に塗装する。 （もっと読む）

本発明は、錠剤のコーティング装置と方法に関するものである。
（もっと読む）