Fターム[4F073FA00]の内容

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本発明は物品のプラズマ処理を実施するためのプラズマジェット装置に関し、(a)細長い中心電極(2,15)、(b)前記中心電極を取り囲みかつ前記中心電極と共軸である細長い円筒状外部電極(1)または二つの外部電極(15,16)、または中心電極に実質的に平行な二つの電極、(c)前記外部電極(単数または複数)と前記中心電極の間に配置された電気絶縁体(3)または絶縁体(18,19)、ここで遠位端と近位端を持つ放電内腔が前記中心電極と前記電気絶縁体(単数または複数)の間に規定される、(d)前記放電内腔の前記遠位端に配置されたプラズマ生成ガスを前記放電内腔に供給するための供給開口(6)、(e)前記中心電極と前記外部電極の間に電圧を与えるための電源(9)、を含み、前記電気絶縁体が前記近位端で前記外部電極(単数または複数)の外表面を越えて半径方向または外向き延長部(40,20)を持つことを特徴とする。 (もっと読む)


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