【課題】外部環境からの熱に起因した熱変形を低減するのに有利な型を提供する。
【解決手段】この型８は、被処理体１３に対して成形すべきパターンが形成されたパターン部８ａを有する。パターン部８ａが設置されている側の面は、パターン部８ａが配置された第１面と、パターン部８ａが配置されていない第２面８ｂとを含む。型８は、第２面８ｂの表面に、外部環境からの熱を拡散させる熱拡散膜４０（４２、４５）を有する。 （もっと読む）

【課題】インプリント領域に異物や凹凸が存在する場合に、モールドの交換を行うことなく、パターン形成時のモールドの破損を防止するインプリント装置を提供する。
【解決手段】モールド３は、パターンを形成するための凹凸パターンを有する第１押印部２０と、ダミー用の第２押印部２１との少なくとも２つの押印部を有する。制御手段は、異物検査手段の検査結果に基づいて、インプリント領域に異物、又は凹凸が存在するかどうかを判定し、存在しないと判定した場合には、第１押印部２０を選択し、一方、存在すると判定した場合には、第２押印部２１を選択し、第２押印部２１を選択した場合には、第２押印部２１が第１押印部２０よりも基板５との距離が近くなるように退避手段を制御した後、第２押印部２１と未硬化樹脂との接触を実行させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、モールドの製造に複雑な工程を追加することなく、簡便な手法で、ネームマーク等が被転写基板や樹脂と接触するという問題を解消したナノインプリントリソグラフィ用モールド、およびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 転写領域を上面とするメサ構造を形成するために非転写領域を掘り下げるエッチング工程において、同時にネームマーク等を構成する識別構造体を形成し、前記識別構造体形成用のエッチングマスクを、前記転写領域を上面とするメサ構造の高さに応じた特定の大きさに形成することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】製造したテンプレートの形状と、そのテンプレートによって形成された被処理膜を形成するためのパターンが、テンプレートの描画データに基づいて正しく製造されているかを調べるために使用するパターン検査データの作成方法を提供する。
【解決手段】隣接する一対のライン部を形成するパターンの端部間が接続された閉ループ構造のデバイスパターン形成用パターンを有するテンプレートを形成するための描画データのパターンの外周を、外向き／内向きに所定の量だけ移動させたバイアスデータを作成し、ついで、パターンの外周を外向きと内向きの両方に所定の量だけ移動させて２つのバイアスデータを作成した場合には、２つのバイアスデータの差分を取り、パターンの外周を外向きまたは内向きの一方に所定量だけ移動させて１つのバイアスデータを作成した場合には、バイアスデータとパターンの描画データとの差分を取ってパターン検査データを作成する。 （もっと読む）

【課題】ロール金型の外周面に形成された加工パターンを保護することができるロール金型の保護方法、及びこのようなロール金型を用いた光学シートの製造方法を提供する。
【解決手段】ロール金型３の周囲にシート基材９を配置し、ロール金型３を回転させシート基材９の搬送を開始し、ロール金型３に紫外線の照射を開始し、ロール金型３とシート基材９との間にモノマーを供給し紫外線によりモノマーを硬化させ、加工パターンに相補的な光学パターンをシート基材９上に形成することにより、光学シートを製造する方法において、ロール金型３の外周面には、加工パターンを保護する保護膜２１が予め配置されており、保護膜２１は、供給されたモノマーによって、シート基材９に接着されてロール金型３から除去され、保護膜２１がロール金型３の外周面から除去された後に、光学パターンが連続して形成される。 （もっと読む）