【課題】オゾン含有ガス中のオゾン含有量を維持しつつ、酸素濃度を低減させることが可能なオゾン供給装置を提供する。
【解決手段】酸素オゾン混合ガスをフッ素系溶媒に溶解して混合溶液を生成する混合手段１と、前記混合溶液から未溶解の気体を除去する未溶解ガス除去手段２と、未溶解の気体を除去した後の前記混合溶液に溶解しているオゾン含有ガスを当該混合溶液から取り出す脱気手段３と、を備えることを特徴とするオゾン供給装置１１を採用する。 （もっと読む）