プラズマ処理装置に有用な部品を表面仕上げする方法が提供される。本部品は、少なくとも１つのプラズマに曝される石英ガラス面を含む。本方法は、所望の表面形態を実現するために、前記プラズマに曝される面を機械研磨すること、化学エッチングすること及び洗浄することを含む。それらの方法により、前記部品の石英ガラス密封面も仕上げることができる。同一の部品のプラズマに曝される面及び密封面は、互いに異なる表面形態に仕上げられうる。
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本発明はガラスを強化する方法および装置に関する。本発明の１つの面に従う方法では、ガラス品の表面を少なくとも前記ガラスの焼きなまし点温度にしながら前記表面にカリウムイオンを付着させた後に前記ガラスの温度を前記ガラスの歪み点温度と前記歪み点温度より約１５０℃低い温度の範囲に少なくとも約５分間保持することによってイオン交換反応がより効率良く起こり易くすることでガラスを強化する。１つの態様では、ガラス品を塩浴に浸漬することでそのイオンを付着させてもよい。代替態様では、ガラス品に溶融状態のカリウム塩を噴霧することでそのイオンを付着させてもよい。本発明の方法の結果として、そのような処理を受けさせたガラス品は表面応力が高くなることで強化されているか、或は処理を受けさせていない同じガラス品に比べて強度は変化しないままであるがガラス含有量を低くすることができる。
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