Fターム[4G068DA06]の内容
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Fターム[4G068DA06]に分類される特許
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揮発性有機化合物のガス定量発生装置
【課題】微量なVOCを定量的に発生させることが可能であり、また輸送時などのVOCによる拡散フィルタの漏れおよび濡れを容易に防止することが可能であり、さらに測定場所での設置が容易である、簡便かつ高性能のVOCガス定量発生装置を提供すること。
【解決手段】揮発性有機化合物を収容する容器と、容器の開口部を覆いかつ揮発性有機化合物から発生するガスを容器の外部に拡散させる拡散口を有するキャップと、キャップの拡散口を覆いかつガスの拡散を制御する拡散フィルタとを備えるガス定量発生装置において、拡散フィルタとしてポリマー粒子を焼結して得られる焼結フィルタを使用する。
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溶剤ガス発生装置、これを用いた溶剤ガス処理装置およびその運転方法
【課題】揮発性有機化合物の溶剤液の安定した気化と、安全性の向上を図った溶剤ガス発生装置を提供する。
【解決手段】ポンプ118によって供給された溶剤液を加熱気化させる気化管121と、気化管を加熱する加熱手段122と、気化管の温度を検出し所定温度に制御する温度調節手段122aと、溶剤ガスを噴出する噴出口を有するノズル孔129と、ノズル孔の噴出口を開閉するニードル131を駆動する駆動手段130と、溶剤ガスと混合する希釈気体を供給する希釈気体供給手段136と、を備え、加熱手段により加熱した気化管にポンプにより溶剤液を供給し加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、ノズル孔を開にして溶剤ガスを噴出させ、ノズルから噴出した溶剤ガスに希釈気体を混合させて希釈溶剤ガスとして溶剤ガス処理装置へ供給する。
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揮発性物質の揮発供給システム
【課題】 揮発性物質の分離、吸着を行うフィルタや吸着材などの性能試験を長時間安定して行うことを可能にする揮発性物質の揮発供給システムを提供する。
【解決手段】 RuO4原料を収納する揮発装置2と、揮発装置2内の温度を調整する温度調整部3と、揮発装置2に供給するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部4と、パージガス流量調整部4で流量調整されたパージガスを揮発装置2内に導入するパージガス配管5Bと、揮発装置2から揮発Ruのを含むガスを搬送する搬送配管6と、搬送配管6に送出するキャリアガスの流量を調整するキャリアガス流量調整部7とを備える。
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