本発明は、無機ハロゲン化物及び／又はオキシハロゲン化物を精製するための、方法及び装置に関する。ある実施形態において、本発明の方法は、精製無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液を生成させるために、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物フィード液をゼオライトと接触させることを含む。ある実施形態において、ゼオライトは、水素型のＹ型ゼオライトである。別の態様において、本発明は、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物を精製するための装置を含む。装置は、ａ）液体注入口及び液体排出口を含む液体濾過ハウジングと；ｂ）水素形態におけるＹ型ゼオライトと、を含む。分子性及び／又はイオン性不純物は、ゼオライトを含む濾過媒体を用いて、フィード液から除去することができる。好ましい実施形態において、分子性不純物及びイオン性不純物の両方を、ゼオライトを含む濾過媒体を用いて、フィード液から除去することができる。 （もっと読む）

本発明はシリコンの製造方法に関する。ここでは、モノシランおよびモノクロロシランを含み、望ましい場合にはたとえばジクロロシラン等の別のクロロシランも含む気体混合物を熱分解する。 （もっと読む）

５０ｍ^２／ｇより大きいＢＥＴ表面積を有する凝集した結晶質シリコン粉末。該粉末は、少なくとも１の蒸気状もしくは気体状のシランおよび場合により少なくとも１の蒸気状もしくは気体状のドープ物質および不活性ガスを反応器へを連続的に供給し、かつここで成分を混合し、その際、シランの割合は、シラン、ドープ物質および不活性ガスの全ての合計に対して０．１〜９０質量％であり、該混合物をエネルギーの入力により反応させ、その際、１０〜１１００ミリバールの圧力でマイクロ波領域の電磁線を用いてエネルギーを入力することによりプラズマを発生させ、反応混合物を冷却させ、かつ反応生成物を気体状の物質から粉末の形で分離することにより製造される。該粉末は電子部品の製造のために使用することができる。 （もっと読む）

２つのシリコン部材と、シームを横切って部材を整合するように、部材が組立てられる結合組立体とを接合するための方法。シリコン粉末からのシリコンがシームを横切ってプラズマ溶射され、シームの各側面上のシリコン部材に結合するシリコン・コーティングを形成し、それにより部材を一緒に結合する。プラズマ溶射したシリコンは、下に位置するスピン・オン・グラスの結合を密封することができるか、又は一次結合としての働きをすることができ、この場合、貫通ホゾ穴は、ホゾ穴の対向端部上に２つのシリコン層がプラズマ溶射されるような貫通ホゾ穴であることが好ましい。シリコン・ウェハ・タワー又はボートは最終製品であってもよい。この方法は円形に配置されているセグメント又はステーブから、リング又はチューブを形成するために使用することができる。シリコンのプラズマ溶射は、シリコン部材に発生したクラック又は欠けを修理することができる。
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