【課題】改良された予備加熱機構を用いてシリコン原料を予備加熱した後、誘導加熱によってシリコン原料を溶解させる。
【解決手段】シリコン原料２を収容する溶解容器１１と、シリコン原料２を取り囲む筒状の予備加熱機構１４と、予備加熱機構１４の周囲に巻回された誘導コイル１２と、誘導コイル１２に交流電流を供給する電源回路１３と、予備加熱機構の着脱を行う着脱機構１５とを備えている。そして、予備加熱機構１４を取り付けた状態で誘導コイル１２に交流電流を流すことによりシリコン原料２を予備加熱した後、予備加熱機構１４を取り外した状態で誘導コイル１２に交流電流を流すことにより、予備加熱されたシリコン原料２を誘導加熱する。これにより、シリコン原料２を誘導加熱する前に効率よく予備加熱を行うことが可能となる。 （もっと読む）