Fターム[4G077TD00]の内容
結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 反応室 (96)
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III族窒化物結晶の製造方法
【課題】結晶成長の際に反応室内に付着した堆積物を効果的に洗浄する方法を含むIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】III族窒化物結晶11の成長方法は、反応室110にHClガス1を導入して反応室110内を洗浄する工程と、洗浄された反応室110内でSi原子をドーピングしながらIII族窒化物結晶11を気相成長させる工程と、を含む。または、反応室110にHClガスを導入して反応室110内を洗浄する工程と、洗浄された反応室110に取り付けられたトラップ装置116内に副生成物として生成した塩化アンモニア粉末をトラップしながらIII族窒化物結晶11を気相成長させる工程と、を含む。
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