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Fターム[4G132AA03]の内容

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Fターム[4G132AA03]に分類される特許

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【課題】直胴部と受け皿部との境界部分からのSiOガスの漏洩を防止し、SiC化の早期進行を防止するようにしたカーボン製ルツボを提供する。
【解決手段】シリコン等の金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ4を保持するためのカーボン製ルツボ5であり、直胴部9と受け皿部10とが分割されて構成されている。石英ルツボ4とカーボン製ルツボ5との間には、カーボン製ルツボ5の内面の、少なくとも直胴部9と受け皿部10との境界部分Aを覆うように、黒鉛質シート11が配置されている。黒鉛質シート11は膨張黒鉛シートである。 (もっと読む)


【課題】網状体の寿命の向上、石英ルツボからの外れ易さ、網状体への食い込み防止等に加えて、特に、融液の流れの乱れに起因した金属結晶の品質の低下を防止することができるルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】直胴部9と受け皿部10とが組み合わされ、金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ4を保持するルツボ保持部材であって、直胴部9は、炭素繊維強化炭素材から成り網状に織り込まれた網状体で構成され、石英ルツボ4と直胴部9との間には、少なくとも直胴部9の内面全体を覆うように黒鉛質シート11が配置されている。黒鉛質シート11は膨張黒鉛シートであるのが好ましい。 (もっと読む)



【課題】シリコンの製造に使用される内側るつぼの損傷を防止し、かつ、外側るつぼのSiC化を抑制することができ、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝えることができる膨張黒鉛シートの使用方法及びこの使用方法を用いたシリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】石英製の内側るつぼ2と黒鉛製の外側るつぼ3を有するるつぼ1において、両るつぼの間に、ガス透過率が1.0×10−4cm/sより小さく、熱伝導率が120W/m・K以上である膨張黒鉛シート4を配設する。これによりガス遮蔽性が保たれ、るつぼの均一加熱が可能となる。 (もっと読む)


【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上し、かつ、外側るつぼのSiC化や減肉等の発生を防ぐことができ、また、ガス遮蔽性が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができる。
【解決手段】内側るつぼ2と外側るつぼ3を有するるつぼ1において、両るつぼの間に膨張黒鉛からなるシート4を複数枚積層して配設する。 (もっと読む)


【課題】チョクラルスキー法による単結晶引き上げ装置の石英ルツボと石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて、炭素質ルツボを保護するためにその内面を覆う中敷に使用する膨張黒鉛シートであって、その引張強度を向上する方法並びにそれを用いた単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】膨張黒鉛材料からなる基材11の少なくとも片面に、炭素繊維からなる補強材12を積層状に形成することにより、膨張黒鉛シート10を作製する。 (もっと読む)


【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上し、かつ、外側るつぼのSiC化や減肉等の発生を防ぐことができ、また、圧縮率が高くても、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝える程度に熱伝導率が保たれており、さらに、ガス遮蔽性が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができるるつぼ用保護シートを提供する。
【解決手段】内側るつぼ2と外側るつぼ3を有するるつぼ1において、両るつぼの間に配設される膨張黒鉛からなるシート4であって、面方向の熱伝導率が、120W/(m・K)以上であり、ガス透過率が、1.0×10−4cm/sより小さく、厚さ方向から34.3MPaの加圧力で加圧圧縮したときにおいて、圧縮率が20%以上である。 (もっと読む)


【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上することができ、また、圧縮率が高くても、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝えることができる程度に熱伝導率が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができるるつぼ用保護シートを提供する。
【解決手段】内側るつぼ2と外側るつぼ3を有するるつぼ1において、両るつぼの間に配設される膨張黒鉛からなるシート4であって、面方向の熱伝導率が、120W/(m・K)以上であり、厚さ方向から34.3MPaの加圧力で加圧圧縮したときにおいて、圧縮率が20%以上である。 (もっと読む)


【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防いで作業性を向上することができ、また、圧縮率が高くても、ガス遮蔽性が保たれることにより、外側るつぼのSiC化や減肉等の発生を防ぐことができるるつぼ用保護シートを提供する。
【解決手段】内側るつぼ2と外側るつぼ3を有するるつぼ1において、両るつぼの間に配設される膨張黒鉛からなるシート4であって、ガス透過率が、1.0×10−4cm/sより小さく、厚さ方向から34.3MPaの加圧力で加圧圧縮したときにおいて、圧縮率が20%以上である。 (もっと読む)


【課題】可撓性を有する高純度膨張黒鉛シートを用いたカーボンルツボの中敷及びその製造方法を提供する。
【解決手段】カーボンルツボの中敷は、かさ密度が0.7〜1.3g/cm、厚みが0.2〜1.0mm及び不純物含有量が5ppm以下であり、さらに線対称形状である膨張黒鉛シートを用いた可撓性を有するカーボンルツボの中敷である。また、前記膨張黒鉛シートは非線対称形状のものであってもよい。さらに、カーボンルツボの中敷の製造方法は、かさ密度が0.7〜1.3g/cm及び厚みが0.2〜1.0mmの膨張黒鉛シートを、線対称形状に加工した後に高純度化処理して、不純物含有量を5ppm以下にする方法である。 (もっと読む)


【課題】強度、特に圧縮強度、曲げ強度などの基本特性が極めて優れ、卓越した補強効果を示す膨張化炭素繊維の特性を活かした膨張化炭素繊維複合材料を提供する。
【解決手段】本発明の膨張化炭素繊維複合材料は、製法としてピッチ系、PAN系あるいは気相成長炭素繊維などの炭素繊維を化学的にあるいは電気化学的にサイジング処理して得た炭素繊維層間化合物あるいは残余化合物を熱分解することによりナノメーターサイズの小繊維形状を得てこれを微少量マトリックスに分散含有させて成形したものである。 (もっと読む)


【課題】撥水処理を施しても高い導電性を維持し、ロール化が容易な、燃料電池のガス拡散体を構成するのに好適な多孔質炭素基材を提供すること。
【解決手段】実質的に二次元平面内において無作為な方向に分散せしめられた炭素短繊維が樹脂炭化物で結着されている多孔質炭素基材であって、該多孔質炭素基材に形成される細孔のうち細孔径が10μm以下の細孔の容積が0.05〜0.16cc/gであることを特徴とする多孔質炭素基材である。
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