【課題】水素ガス分離に係る装置の大型化を抑制しつつ、高純度水素を高回収率で得るのに適した方法と装置を提供する。
【解決手段】本方法は、吸着剤が充填された吸着塔を用いて行うＰＳＡ法により、吸着塔に水素を含む混合ガスを導入して不純物を吸着剤に吸着させ、吸着塔から水素富化ガスを導出する吸着工程、および吸着剤から不純物を脱着させ、吸着塔からガスを導出する脱着工程、を含むサイクルを行うＰＳＡガス分離工程と、吸着剤が充填された吸着塔２０Ａ，２０Ｂを用いて行うＴＳＡ法により、吸着塔内の吸着剤が低温の状態にて、当該吸着塔に水素富化ガスを導入して不純物を吸着剤に吸着させ、当該吸着塔から水素富化ガスよりも高純度の製品水素ガスを導出する吸着工程、および吸着塔内の吸着剤を昇温させつつ当該吸着剤から不純物を脱着させて当該吸着塔からガスを導出する再生工程、を含むサイクルを行うＴＳＡガス分離工程と、を含む。 （もっと読む）