【課題】自己組織化単層膜、特に半導体部品用の単層膜、を形成するために使用される化合物およびその合成方法並びに半導体部品を提供する。
【解決手段】
【化１】


本発明の方法は、ω−ハロゲン−アルク−１−エン（Ｉ）の場合は、π−π相互作用を行う能力のある基、特に少なくとも１つの芳香族基（Ａｒ）を有する基、によってハロゲンを末端求核置換する第１合成工程ａ）と、第１合成工程の生成物を第２合成工程においてヒドロシリル化する工程ｂ）とを特徴とする。本発明の合成方法によれば、所望する化合物を効率的に生成して収率を向上でき、精製条件を簡素化できる。
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