Fターム［4J026HD01］の内容
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オレフィン (39)
芳香族オレフィン (21)
ハロゲン化オレフィン (2)
ビニルアルコール、エーテル、飽和酸ビニルエステル (4)
不飽和モノカルボン酸（誘導体） (16)
不飽和ポリカルボン酸（誘導体） (4)
ポリエン（←ジエン、トリエン） (14)
その他モノマー (5)
Fターム［4J026HD01］に分類される特許
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ブロック共重合体自己組織化方法、パターン化基板およびパターン化テンプレート
【課題】ブロック共重合体自己組織化方法、パターン化基板およびパターン化テンプレートを提供する。
【解決手段】リソグラフィを行ない、基板上に第１のパターンを形成する工程と、ブロック共重合体自己組織化を行ない、基板上に第２のパターンを形成する工程とを含む方法、パターン化基板テンプレート、およびリソグラフィ技術と自己組織化技術との組合せを含む方法が提供される。パターン化基板は、第１および第２のパターンを含んでもよい。
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