【課題】２部材の相互対向面間に配置した接着剤によりそれら部材を接合する際に、部材寸法に関わらず、相互対向面の略全面に渡り短時間で一様な押圧力を加える接着方法を提供する。
【解決手段】気密性を有する弾性シート１８によって互いに分離された第１及び第２圧力区域２０、２２を用意する。第１圧力区域において、第１表面１２ａに接着剤１６を配置した第１の部材１２を弾性シートの上に載せ、第１の部材１２及び第２の部材１４を、第１表面１２ａと第２表面１４ａとが互いに向き合う位置に配置する。第１及び第２圧力区域をそれぞれ圧力Ｐ１、Ｐ２まで減圧する。第２圧力区域の圧力を第１圧力区域の圧力よりも増加させ、生じた差圧ΔＰにより、弾性シートを第１圧力区域側に弾性変位させながら第１の部材を移動し、差圧に抗して第２の部材の第２裏面１４ｂを支持しながら、第１の部材の第１表面と第２の部材の第２表面とを接着剤を介し互いに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で接着体と被接着体とを接着する面接着ジグ、面接着真空装置及びこれを用いた接着方法を提供する。
【解決手段】複数の定着ポケット１２２を含む定着部１２０、各定着ポケット１２２の下部に位置し、定着ポケット１２２と接近または離隔可能な可動部１４０及び可動部１４０の下部に位置して、可動部１４０を可動させる圧力変化によって伸長または収縮される第１弾性膜１５０を含む第１フレーム１１０及び第１フレーム１１０に離隔または接近可能であり、定着ポケット１２２に対応する位置に圧力変化によって伸長または収縮される第２弾性膜１７０を含む第２フレーム１６０を含む面接着ジグ１００。 （もっと読む）