【課題】インダン骨格を有する新規な重合体、及びインデン骨格を有する新規な重合体、並びにそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】下記式（１）で表される構造単位を有する、インダン系重合体。
【化１】


［式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基又はアリール基を示す。Ｒ^１とＲ^２、Ｒ^３とＲ^４、Ｒ^５とＲ^６、Ｒ^６とＲ^７、及び、Ｒ^７とＲ^８は、それぞれ互いに結合して環を形成していてもよい。］ （もっと読む）

【課題】液浸露光中のレジスト膜の変質および使用液浸露光用液体の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加なしに、形状良好なレジストパターンを形成可能な保護膜形成用材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（I）
【化１】


（式（I）中、Ｒ₁は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ₂は炭素原子数１から５のアルキレン鎖を示し、Ｒ₃は水素原子の一部又は全部がフッ素原子に置換された炭素原子数１から１０のフッ素化アルキレン鎖であり、ｍは繰り返し単位を表す）
で表される構成単位を有するアルカリ可溶性ポリマーを少なくとも含有して保護膜形成用材料を構成する。 （もっと読む）