【課題】 同一の処理容器内でプラズマ窒化処理の処理条件を変化させた場合でもパーティクルの発生を防止できるプラズマ窒化処理方法を提供する。
【解決手段】 第１のプラズマ窒化処理が終了し、処理容器１から１枚のウエハＷを搬出した後に、処理容器１内から酸素を排出させるプラズマシーズニングを行う。プラズマシーズニングでは、ウエハＷを配置せず又はダミー基板を配置し、処理容器１内に窒素ガス／希ガスの流量比０．２以上１以下で希ガスと窒素ガスの処理ガスを導入し、第２の条件で第２の窒素プラズマを生成させ、処理容器１内の酸素を除去する。 （もっと読む）

【課題】基材の種類に関係なく、短時間で、耐腐食性に優れたクロムめっき製品を製造できるクロムめっき製品の製造方法を提供すること。
【解決手段】クロムめっき膜２１と、これを被覆するクロムの酸化皮膜２２との複合皮膜２が、基材３の表面に形成されたクロムめっき製品１の製造方法である。該製造方法においては、めっき工程とプラズマ処理工程とを行う。めっき工程においては、基材３の表面にクロムめっきを施して、クロムめっき膜２１を形成する。プラズマ処理工程においては、クロムめっき膜２１の表面にプラズマ処理を施して、クロムめっき膜２１の表面に酸化皮膜２２を形成する。また、プラズマ処理工程においては、ＮａＣｌ水溶液中で、Ａｇ／ＡｇＣｌ電極を基準電極としたときの複合皮膜２の自然電極電位が−０．３Ｖ以上となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシン等の肉厚が数ｍｍ以下の大きさの部品に浸炭を施し、強度の強く、精度の高い微少金属部品の浸炭方法及び浸炭装置を提供する。
【解決手段】連続真空浸炭方法は、所望の炭素含有量またはそれよりも少ない炭素含有量の微少金属部品をキャリア線７に係止して、減圧下で、圧力およびガス組成が一定の浸炭雰囲気５に連続的に微少金属部品及びキャリア線７を通して浸炭する。この方法を実施するための連続真空浸炭装置は、真空容器１内に、少なくとも一つの炉心管１，１１，１２と、キャリア線の繰り出し巻き取り機構１３，１４とを有する。炉心管１には、配管２，４を介して浸炭源ガスが供給排気され、浸炭雰囲気５を形成する。ヒータ１０が、炉心管１を加熱して、浸炭源ガス中のの炭素を活性化する。こうして、例えば０．０２ｍｍから３ｍｍの厚みが小さい材料に、浸炭量ばらつきが少なく表面酸化やスーティングの無い浸炭を行う。 （もっと読む）