回転炉（１０）における鉱物処理中のＮＯｘ排気を削減し、エネルギー効率を向上させる方法を提供する。本方法は、高速度／高運動エネルギーの空気を回転炉（１０）に注入し、炉ガスの層状化を低減又は消散させることを含む。本方法は、回転炉容器（１２）又は予熱／予焼成容器においてガスを混合するために適用することができる。 （もっと読む）

【課題】内壁面部材が均一に加熱されず、内壁面部材の加熱にムラが生じることをより好適に防止する基板熱処理装置および基板熱処理製造方法を提供する。
【解決手段】 プロセスチャンバ内部を加熱用ガスが通過する際に前記加熱用ガスが加熱される加熱用配管と、前記加熱用配管はその内部の加熱用ガスの熱が前記加熱される内壁面部材に熱影響を与える程近傍に少なくともその一部が設けられる構造で、前記加熱用配管は、前記加熱用ガスが前記加熱される内壁面部材と略同温以上に加熱される加熱済配管と、前記加熱される内壁面部材よりも低温の未加熱配管とを備え、前記未加熱配管は、その内部の加熱用ガスの熱が前記基板加熱機構により前記加熱される内壁面部材の温度に影響を与えない位置に配置される。 （もっと読む）

有害物質を効率よく処理することができ、未分解な有害物質が加熱容器内に残留することを防ぐことができる有害物質処理装置を提供する。 有害物質を含む被処理物が収容される加熱室を有する加熱容器１０と、加熱容器１０の加熱室内の空気を吸引して減圧する減圧手段４０と、加熱容器１０の加熱室内を加熱する加熱手段２０とを備えた有害物質処理装置１において、加熱容器１０が、中空な筒状に形成されており、加熱手段２０が、加熱容器１０の長手方向に沿って設けられた複数の加熱部２１，２５と、複数の加熱部２１，２５の作動順序を制御する制御部３０とを備えている。被処理物が加熱されたことによって発生する気化した有害物質が、加熱容器１０の低温部分に付着して残留することを防ぐことができる。
（もっと読む）