【課題】排気効率を向上させ、キャリアガスの流量を削減することができる酸化物超電導線材の熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１は、外筒２と内筒３により形成された円筒状の熱処理空間４を備えた炉芯管と、この炉芯管の外周に配置されたヒータ５と、熱処理空間４内部に炉芯軸に対して回転可能に配置されたＹＢＣＯ超電導前駆体膜を有するテープ状線材を巻回するための多数の貫通孔６ａが形成された円筒状の回転体６と、外筒２と回転体６との間に配置された多数のガス噴出孔７ａを備えたガス供給管７と、雰囲気ガスを回転体６と内筒３との間から排出するためのガス排出路８とを備え、ガス排出路８は内筒３と回転体６の間に配置された外側円筒体１１とこの内部に同心状に配置された内側円筒体１２により形成された円筒状のガス排出路１３を有するガス排出管１４により形成されており、円筒状の回転体６に巻きつけられテープ状線材の全長に亘って均一な反応を行わせることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】被熱処理体の熱処理を実施する熱処理装置において、基板上への塵落下を防止するとともに、電力削減および製品品質の向上を実現できる熱処理装置、その方法、および、プラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】熱処理装置は、連続的に配置した連続炉を備え、各区画室は、互いに独立の処理空間となっている。ヒータ３７，３８によって昇温され、その各区画室内の各基板を所定温度に加熱処理する。各区画室内には、マッフルと呼ばれる耐熱性のガラス上板３９ａ、ガラス側板３９ｂ，３９ｃが設けられ、特に、ガラス上板３９ａは、基板から２０〜６０ｍｍ離れた位置に設置される。マッフルとして用いられるガラスは、日本電気硝子社製のネオセラム（商品名）が好適に用いられ、このネオセラムの表面に、金属を溶媒に溶かした溶液を塗布して有機金属化させた透明マッフルを使用することができる。 （もっと読む）