【目的】処理品を１０００℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法およびそのためのバッチ式焼成炉を提供する。
【構成】炉内に、棒状またはパイプ状のヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、該棚構造上に処理品の積載板を載置して処理品を加熱するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、炉内のクリーン度を保ちつつ、減圧下における炉内の配線部分からの漏れ電流の発生を防止することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、パネルヒータ１８および炉体１２を少なくとも備え、パネルヒータ１８は、発熱線および電源供給線が絶縁された状態で金属管に充填されたシース部を含む単一または複数の細管シースヒータ３０を有し、炉体１２は、パネルヒータ１８を内部に収容するように構成され、シースヒータ３０におけるシース部が挿通可能なゲージポートを有する。 （もっと読む）

【課題】１０００℃を超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法を得る。
【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料は、Ｔａ微粒子を、Ｃを含む反応性ガス粒子と共に黒鉛基材表面に付着させることで、前記表面にＴａＣ微粒子を積層してなる結晶組織のＴａＣ被膜が形成され、かつ該被膜の組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となる。また、本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、アークイオンプレーティング式反応性蒸着法により、金属Ｔａの微粒子を、Ｃを含む反応ガスの粒子と共に黒鉛基材表面に付着させ、前記表面にＴａＣ微粒子を積層してなる前記被膜を形成すると共に、黒鉛基材表面にＴａＣ被膜をその組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】１０００℃を超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法を得る。
【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、ターゲット材としての金属タンタル及び炭素を含む反応ガスを使用してアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）式反応性蒸着法により、４００〜６００℃の雰囲気中において、前記金属タンタルの微粒子を前記反応ガスの粒子と共に前記黒鉛基材の表面に付着させて、前記表面に炭化タンタル微粒子を積層してなる前記被膜を形成すると共に、黒鉛基材の表面にＴａＣ被膜を、その組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となるように形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の基板を熱処理用プレートの表面に密接させた状態で熱処理を施す際に、ガラス基板に接触傷が付くという不具合或いはガラス基板が割れ破壊するという不具合を効果的に回避する。
【解決手段】 基板Ｇを熱処理エリア２Ａに搬入し且つその基板Ｇに対して熱処理を施すと共に、熱処理が施された基板Ｇを熱処理エリア２Ａから搬出するように構成し、更に熱処理エリア２Ａに、表面３Ｓに基板Ｇを実質的に密接させた状態で基板Ｇに対して熱処理を施す基板熱処理用プレート３を配設すると共に、その熱処理用プレート３の表面３Ｓに、フッ素樹脂（好ましくは帯電防止性を有する）を被覆材料とするコーティング層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 加熱板一枚当りの実質的な重量軽減、使用電気容量の低減、分割・軽量による加熱板交換・組立の容易化、加熱板厚み低減による多段段数の確保を可能とした、熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉を、提供することを目的とする。
【解決手段】 中空部４を有する支持体５と、この支持体５の上面に積層される発熱体６と、この発熱体６の上に積層される伝熱体７とを備えた熱板１、さらに、中空部４が、上下２枚の支持層と、この支持層を保持する長手方向に走る梁３とに囲まれた熱板。 （もっと読む）