【課題】レイアウトデータからＣｕ残が発生しやすい品種やレイヤであるか否かを判定することのできる偏在率算出方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、検証レイヤにおいて所定サイズの検証エリア毎にパターン密度を算出するステップＳ１３と、算出されたパターン密度を複数の密度範囲に分別し、各々の密度範囲に属するパターン密度の分布を示す複数の密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を生成するステップＳ１４とを実行する。また、ＣＰＵは、各密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７に所定量のプラスシフトを加えるステップＳ１５と、パターン密度の密度差が第１基準値以上となる組み合わせの密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を重ね合わせ、両密度マップで重複した領域を抽出するステップＳ１６とを実行する。ＣＰＵは、その抽出した領域の総面積を算出するステップＳ１７と、算出した総面積と第２基準値とを比較するステップＳ１８とを実行する。 （もっと読む）