【課題】 手動によって装置稼働を停止させることなく、高電圧漏れ電流を自動測定する。
【解決手段】 高電圧漏れ電流測定装置は、電子銃２からエミッション電流を流出させる装置において、電子銃２を駆動する電子銃駆動回路３と、電子銃２の駆動源を構成する高電圧電源４から電子銃駆動回路に流入する電流を測定する電流計５と、電子銃駆動回路３を制御する制御回路１０とを備える。制御回路１０は、電子銃駆動回路３を制御して、電子銃２からエミッション電流を流出させない測定モードとし、この測定モードにおける電流計の電流値を高電圧漏れ電流として取得する。 （もっと読む）