【課題】荷電粒子線装置の高電圧変動を測定する簡単な構造の測定装置を備える高圧電源ユニットを提供する。
【解決手段】高圧電源ユニット１００は、高電圧を供給する少なくとも一つの高電圧ケーブル１０１及び高電圧を測定する測定装置１０５を備え、測定装置１０５はケーブルの長手軸線に沿って延在する内部導体と絶縁体及びシールドより形成されるの少なくとも一つの第１のキャパシタ１０８を有し、第１のキャパシタ１０８のシールド電圧を測定装置１０５により測定する。 （もっと読む）

【課題】放電発生の判定を正確に行い、電子銃の電極等の有する放電要因を効果的かつ効率的に除去できる電子銃のコンディショニング法および電子線描画装置が提供する。
【解決手段】電子線描画装置１には、電子銃１００と、電子銃１００の電極に電圧を供給する電圧供給部３と、電子銃１００の電極間のリーク電流を検出する電流検出部４と、リーク電流の検出データに基づき電圧供給部３を制御する制御部５が備えられる。制御部５内には、リーク電流の検出データを保存する電流保存部６が設けられる。そして、電子銃１００の電極に電圧供給部３から電圧を供給し、電流検出部４がリーク電流を検出し、制御部５が電流保存部６に保存された検出データをオフセットとして用いてリーク電流を評価し、電極間に印加する電圧を制御し、電子銃１００のコンディショニング処理を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、一体化されたエネルギーフィルタを備える荷電粒子フィルタに関する。
【解決手段】 使用されている大抵のフィルタは、曲率の大きな光軸を有するので、作製の困難な形状の部品を用いるが、本発明による荷電粒子源は、まっすぐな光軸を取り囲む電極を使用する。驚くべきことに、本願発明者は、電極の一部（114、116、120、122）が120°/60°/120°/60°で構成されているとすると、エネルギー選択スリット108にて相当なエネルギー分散を示す、光軸104からかなり離れた荷電粒子ビーム106aを、補正不可能なコマ収差又は非点収差を導入することなく、偏向させることが十分可能であることを発見した。前記電極は、セラミックスの接着又は真鍮により、互いに取り付けられて良い。かなり同心円のボアの列が、たとえば電界放電によって形成されて良い。 （もっと読む）

【課題】電子銃の異常放電を高い作業効率で効果的に抑制することのできる電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】アノードとウェネルトの間に電圧を印加するとともに印加電圧を徐々に増加させ、これらの表面に放電を生じさせる電子銃のコンディショニング方法であって、電子銃内の圧力を測定し、圧力の測定値の中の最小値を定めるとともに、測定値と最小値とを比較し、印加電圧を制御する。アノードとウェネルトの間への電圧の印加は、電子銃内の圧力が所定値より低くなったところで行うことが好ましい。さらに、電子銃内の圧力の測定値と最小値とを比較し、印加電圧を所定時間維持するか、または、降圧したうえで所定時間維持することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明はエミッタアレイを用いた電子プローブ装置に関し、プローブの径を保持したままでプローブ電流を増加させる電子プローブ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】リング状に並べられたＦＥエミッタアレイ１と、該ＦＥエミッタアレイ１のビームを回折面に集束させるためのレンズ２と、回折面に配置された絞り３と、該絞り３の絞り面の縮小像を試料６に照射させるための光学系５とからなり、装置のプローブ径を保ったままでプローブ電流値を増大させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子銃を構成する電極に存在する放電要因を効果的に除去し電子銃のコンディショニング時に発生する大きな放電を抑制する。
【解決手段】電子銃１００のコンディショニング装置３０は、電圧供給部１１、電圧供給部１１の出力電圧を調整する電圧調整部１２、電子銃１００の電極間のリーク電流を検出する電流検出部１３を備える。そして、電子銃１００内の減圧状態を調節するとともに所定のガスを導入して電子銃１００内の圧力を制御する流量コントローラ２１、真空排気部１５、圧力検出部１６を有する。そして、流量コントローラ２１の制御により電子銃１００内の前記ガスの圧力を自在に制御するとともに、電流検出部１３で検出するリーク電流に基づき、電圧供給部１１から電極間に印加される電圧を電圧調整部１２で制御し、電子銃１００の電極にある放電要因１９を除去する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子源の異常放電を正確に検出可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源１２と、該荷電粒子源１２に加速電圧を印加する加速電圧源３と、
コアＣにギャップＧを有し前記加速電圧源３と荷電粒子源１２間に1次側巻き線が接続されたトランス３０と、
該トランスの２次側巻き線Ｎ２に流れる電流又は発生する電圧に基づいて１次側巻き線Ｎ１に流れる電流を検出する１次側電流検出回路と、
該１次電流検出回路の出力に基づいて放電を検出する放電検出回路を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】電子銃の放電要因を確実に除去することが可能なコンディショニング処理方法を提供する。
【解決手段】電子銃内の圧力に基づいて、電子銃の電極に印加する印加電圧Ｖを制御する。時刻ｔ１０において印加電圧が所定の電圧に昇圧された後、異常放電が発生することにより電子銃内の圧力Ｐが上昇する。圧力Ｐが基準値Ｐｔｈ以下となる時刻ｔ１１において、印加電圧Ｖを次のステップの電圧に昇圧させる。また、電子銃の電極を流れるリーク電流Ｉ_Ｌが基準値Ｉｔｈ以下となり、かつ、圧力Ｐが基準値Ｐｔｈ以下となった時点で、印加電圧Ｖを次のステップの電圧に昇圧させてもよい。 （もっと読む）

【目的】電子銃及び高圧電源回路の異常を検知することが可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、電子ビーム２００を放出する電子銃２０１と、電子銃２０１に電子の加速電圧を印加する高圧電源回路１１０と、高圧電源回路１１０内に配置され、電子銃２０１のエミッタ抵抗の変動を検知するエミッタ抵抗変動検知回路５４と、高圧電源回路１１０内に配置され、検知されたエミッタ抵抗の変動を記録する記録回路８０と、電子銃２０１から放出される電子ビーム２００を試料の所望する位置に照射する電子光学系と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、ＴＥＭ中において超高速時間分解でその場でイメージングする四次元超高速電子顕微鏡（ＵＥＭ）に関する。単電子イメージングが四次元ＵＥＭ技術の要素技術として使用されて、従来の技術では得ることができない高空間および時間分解能が得られる。本発明の他の実施形態は、電子ビームを試料に収束して、三次元での構造的な特徴を時間の関数として測定する収束ビーム型のＵＥＭについての方法およびシステムに関する。また、実施形態によって、試料の四次元イメージングだけでなく、電子エネルギーのキャラクタリゼーションが得られて、時間分解電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）が実行される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム処理システムで光学部品にバイアスをかけるよう構成される高電圧電源等を提供する。
【解決手段】負荷回路装置は、自己バイアス能動負荷回路（５２０）と、関連する高電圧電源（５００）とを有する。高電圧電源は、例えばガスクラスタイオンビーム（ＧＣＩＢ）処理システム等の荷電粒子ビーム処理システム（１００，１００’，１００”）で光学部品（５３０）にバイアスをかけるよう構成される。高電源圧電源は、負荷電位にある負荷端子及び基準電位にある基準端子を有する可変電圧源（５１０）と、負荷端子と基準端子との間に接続され、略一定の電流を保ちながら負荷電位と基準電位との間の可変電圧降下を維持するよう構成される自己バイアス能動負荷回路（５２０）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 インバータ回路の動作周波数を設定温度において高度に安定化させることにより、周囲温度の変化にかかわらず高安定化電源装置の直流出力高電圧の安定化を今まで以上に向上させること。
【構成】 インバータ回路の出力側に１次巻線が接続されたトランスと、そのトランスの２次巻線に接続された整流装置と、前記インバータ回路の駆動信号の周波数を決定する発振器とを備え、高安定度の直流電圧を出力する高安定度電源装置において、前記発振器とその発振器の周囲温度を制御する温度制御回路とが単一の恒温室ユニット内に収納され、前記恒温室ユニット内で前記温度制御回路の調整及び温度制御が行われることにより、前記発振器の発振周波数を安定化し、前記インバータ回路の前記駆動信号の周波数を高度に安定化することを特徴とする高安定度電源装置。 （もっと読む）

【課題】幅広い運転条件のもとで使用可能で、かつフィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能な熱電子発生装置を提供する。また、フィラメントの寿命を大幅に延長することができる熱電子発生装置及びフィラメント寿命延長方法を提供する。
【解決手段】電子線照射装置（熱電子発生装置）として、真空容器と、真空容器内に設置されるフィラメント４ａと、フィラメント４ａに電力を供給する電源装置４ｃと、フィラメント４ａの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、抵抗検出器の出力に基づいてフィラメントの寿命を予測する演算装置１６とを設ける。演算装置１６を、予め求められたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係、及び抵抗検出器の出力に基づいて、フィラメント４ａの寿命を予測する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】 引出電極３に流れる電流Ｉｅを検出するための検出抵抗５と、Ｉｅ計測回路５ａと、加速電圧アンプ６に負帰還をかけるためのフィードバック抵抗７と、電子銃から前記加速電圧アンプに流れる電流Ｉａを検出するための検出抵抗８と、Ｉａ計測回路８ａとを備える。フィードバック抵抗７に流れる電流Ｉｆを、引出電極電源４をｏｆｆした時のＩａとして求める。（Ｉｅ＋Ｉａ−Ｉｆ）をエミッション電流値として求めることにより、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。 （もっと読む）

【課題】 手動によって装置稼働を停止させることなく、高電圧漏れ電流を自動測定する。
【解決手段】 高電圧漏れ電流測定装置は、電子銃２からエミッション電流を流出させる装置において、電子銃２を駆動する電子銃駆動回路３と、電子銃２の駆動源を構成する高電圧電源４から電子銃駆動回路に流入する電流を測定する電流計５と、電子銃駆動回路３を制御する制御回路１０とを備える。制御回路１０は、電子銃駆動回路３を制御して、電子銃２からエミッション電流を流出させない測定モードとし、この測定モードにおける電流計の電流値を高電圧漏れ電流として取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的はマルチマイクロコラムの制御を容易で効率よく具現することができるように、マルチマイクロコラムにおいて、それぞれの単位マイクロコラムの電子放出源から電子を放出させて電子ビームを形成し、この電子ビームを効率よく制御する方法を提供することにある。
【解決手段】電子放出源、レンズ部、及びデフレクターを備えた単位マイクロコラムをｎ×ｍ行列に含むマルチマイクロコラムにおける電子ビームの制御方法を開示する。それぞれの電子放出源またはそれぞれのエクストラクターには同一または相異なる電圧が印加される。電子ビームを偏向させるために、それぞれのデフレクターの制御分割区域の座標上の区域に同一または相異なる制御電圧が印加される。単位マイクロコラムの電子ビームを効率よく制御するために、エクストラクターに相当しないレンズ層が集団でまたは個別的に制御される。また、この方法を使用するマルチマイクロコラムを提供する。 （もっと読む）