【課題】走査コイルに駆動電流を供給するハーフブリッジ回路に印加される正負電圧のバランスを安定化させることにより、電子線走査の安定化、高精度化を図る。
【解決手段】直流電源１８の正極とＧＮＤとの間、ＧＮＤと負極との間に電解コンデンサ３３、３４を設け、通常状態では±ＶCC／２をハーフブリッジ回路３０に印加する。例えば電解コンデンサ３３の両端電圧が下がり、電解コンデンサ３４の両端電圧が上がると、ＭＯＳＦＥＴ４１がオンしたときに電解コンデンサ３４からトランス４２の１次巻線Ｌ１に電流が流れ、同一巻線数の２次巻線Ｌ２に同電圧が生起される。そして、リアクトル４３、ダイオード４４を介して電解コンデンサ３３に電流が流れ込み、電解コンデンサ３３は充電される。その結果、電解コンデンサ３３、３４のそれぞれの両端電圧は速やかにＶCC／２に戻る。 （もっと読む）

【課題】 偏向信号源側への負荷の増大を招くことなく、高い周波数での電子ビームの高精度大振幅偏向を可能にする。
【解決手段】 電子ビームを発生する電子源と、電子ビームを集束するレンズと、電子ビームを偏向する偏向器とを有し、電子源から発生した電子ビームを試料面上の所望の位置に照射する電子ビーム描画装置であって、偏向器３１は、偏向信号を外部入力用ケーブル５２を介して入力する共振回路の一部であり、外部入力用ケーブル５２から見たときの共振回路の共振周波数でのインピーダンスが外部入力用ケーブル５２の特性インピーダンスとほぼ等しくなるように設定され、偏向信号の周波数は、共振回路の共振周波数とほぼ一致するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】小型電子カラムにおける従来の電場デフレクターの問題点を解決し且つ性能を向上させるためのもので、電子ビームを電場より収差の少ない磁場を用いてデフレクトし、或いは電場および磁場を選択的にまたは同時に使用することが可能なデフレクターを提供する。
【解決手段】
本発明は、電子ビームを生成する電子カラムのデフレクターに関し、より詳しくは、磁場を用いて電子ビームをスキャンまたはシフトし或いは収差補正器の役割を果たすことが可能なデフレクターに関する。本発明に係るデフレクター（１００）は、導体または半導体からなるコア（１２）と、前記コア（１２）に巻き付いているコイル（１１）とを含むデフレクター電極を一つ以上含む。 （もっと読む）

【課題】広い面積の荷電ビームを偏向器により偏向したときにスループットの高い露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の荷電ビームが縮小光学系により加速、収束、偏向作用を受けて試料上に照射される露光装置において、前記試料の直上に位置する前記縮小光学系の内部あるいは直下において対向して一対設けられる電極を有し、電界を発生する静電偏向器と、前記試料の直上に位置する前記縮小光学系の内部あるいは直下において前記一対の電極を内側に挟んで対向して一対設けられるコイルを有し、磁界を発生する磁界偏向器と、を有し、前記複数の荷電ビームが前記一対の電極の間を通過し、前記複数の荷電ビームが配列される方向と前記電界の方向および前記磁界が平行に重畳するように前記静電偏向器および前記磁界偏向器は設けられる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、電子線やイオン等の荷電粒子線を用いた荷電粒子線装置に好適な電磁コイル板の製造方法、電磁コイル板、トロイダル型コイル構造体および荷電粒子線露光装置に関し、絶縁性基板の両面に対向して形成される一対のコイルの導通をはんだ付けを用いることなく容易，確実に行うことを目的とする。
【解決手段】 絶縁性基板のインターコネクト部となる位置に貫通穴を形成する貫通穴形成工程と、前記絶縁性基板の両面および前記貫通穴の内面両側に導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記貫通穴に導電部材を圧入し前記絶縁性基板の両面の導電膜を導通させる導電膜導通工程と、前記絶縁性基板の両面に前記導電膜を介してコイルを対向して形成するコイル形成工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）