【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも１つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。 （もっと読む）

【課題】 今日市販されている高分解能の透過電子顕微鏡(HR-TEM)及び走査型透過電子顕微鏡(HR-STEM)には、所謂対物レンズの軸球面収差C_sを補正する補正装置が備えられている。他の収差は制限をかける収差となることは避けられない。ローズ補正装置としても知られている六重極型の補正装置では、当該補正装置によって導入される、A5としても知られている6回軸非点収差及びD6としても知られている6回スリーローブ収差も、制限をかける収差になることが知られている。
【解決手段】 本発明は、六重極間のクロスオーバーに弱い六重極を加えることによって、A5又はD6のないローズ様補正装置又はクリュー様補正装置の作製を可能にする。あるいは本発明は、弱い六重極と十二重極の両方を加えることによって、A5とD6のいずれも存在しない補正装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により球面収差と六回非点収差を補正する荷電粒子線装置用の収差補正装置を提供する。
【解決手段】各極３１ａ〜３１ｌに励磁コイル３２ａ〜３２ｌを設置した二段の十二極子１２、１３を設ける。各極３１ａ〜３１ｌを順次１乃至１２番目の極、並びにｎ＝０、１、２として、（４ｎ＋１）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋２）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。（４ｎ＋３）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋４）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。これにより、光軸１１の周りに回転可能な三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生する。 （もっと読む）

隣接するヘクサポールフィールド間に丸形レンズデュプレットが設けられ、丸形レンズデュプレットは真ん中のヘクサポールフィールドがそれ以外のヘクサポールフィールド上に結像されるように調整され、調整時にヘクサポールフィールド間に中間面が位置するようになり、中間面は相互に共役となり、３つのヘクサポールフィールドはラーモア関係系内で同じ方向に配向され、３つのヘクサポールフィールドの各強度は３数値非点収差が０になるようにされ、補正器はヘクサポールフィールド対のフィールドが非対称に相互に励起される２つのヘクサポールフィールド対を有し、対は両中間面を中心にして設けられ、ヘクサポールフィールド対の配向はヘクサポールフィールドによって定義された配向に対して３次の光軸外コマ収差が補正されるような角度だけ回転される。
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【課題】球面収差補正光学系において倍率変化が得られるようにし、また、多極子間の光軸に垂直な面内での回転関係を多極子の位相角を変化させることなく補正可能にする。
【解決手段】 ２つの多極子（８，９）間に２つの軸対称レンズ（１０，１１）を配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズ（１２）を配置したものである。 （もっと読む）