【課題】透過電子顕微鏡に適し、電気エネルギー供給における変動に感度を有しない補正器を提供する。
【解決手段】本発明は、６つの多極子（１、２、３，４、５、６）を有する、電子顕微鏡における色収差および開口収差を補正するための補正器（９）に関し、該６つの多極子（１、２、３，４、５、６）は、４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）および８極子場の生成のために、光学経路（７）に順に、対称平面（８）に関して対称に配置されており、全６つの多極子（１、２、３，４、５、６）の４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）は順に、互いに対して９０°回転されており、軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の鏡面対象の交換対称性を形成する。 （もっと読む）

【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の無収差中間像（９）が１番目の４極子要素（１）の４極子場（１’）に形成され、当該４極子場（１’）は、軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の非点中間像（１２、１３）が３番目の多極子要素（３）および４番目の多極子要素（４）の両４極子場（３’、４’）の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、２番目の４極子要素（２）の４極子場（２’）の設定により、両軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の中間像（１２、１３）が位置するのと同じ面（ｘ、ｙ）の両軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）がそれぞれ最大を示す。 （もっと読む）

【課題】画像コントラストをさらに改善し、しかもその際に許容できないエラーの原因とならないようにすることである。
【解決手段】少なくとも１つの歪像（６、６’）を形成および補償するために、当該歪像（６、６’）の前方および後方に配置された四重極場（Ｑ_２’、Ｑ_４’、Ｑ_１２’、Ｑ_１４’）を用い、該四重極場の光軸（１０）方向における拡がりがそれらの焦点距離の少なくとも２倍に相当するようにし、前記軸光線（ｘ_α、ｙ_β）の少なくとも１つが、中間画像（５）の倍率Ｍの相応の選択によって四重極場（Ｑ_２’；Ｑ_１２’）に、前記少なくとも１つの歪像（６、６’）の前方で１／Ｍの勾配で入射し、当該歪像（６、６’）の長さ（７）は許容可能なエラー範囲内に留まるようにする。 （もっと読む）

【課題】さらに高次の妨害収差を導入することなく３次の非点収差を除去する。
【解決手段】本発明は、粒子−光学式システムの軸上及び軸外ビーム経路のための補正器に関し、当該補正器は、光軸上のビーム経路に、一方が他方の後方に配置された第１及び第２の補正部を備え、各補正部は、中央平面に関して対称に且つ以下のフィールドを伴って配置された四つの連続する多極子要素をそれぞれ備え、多極子要素のうち、第１及び第４の多極子要素は、４極子フィールドを発生させるために用いられ、第２及び第３の多極子要素は、８極子フィールド及び４極子フィールドを発生させるために用いられ、後者は重畳された磁気及び電気フィールドであり、全四つの多極子要素の４極子フィールドは互いに９０°回転させられている。
【効果】本発明に従い、中央平面に配置された中央多極子要素が８極子フィールドを発生させることにより、３次の非点収差が補正され得る。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。
【解決手段】光路（９）に連続的に配置された４つの多極子要素を備え、第１の多極子要素（１）および第４の多極子要素（４）は４極子フィールド（５，６）を作るために使用され、第２の（２）および第３の多極子要素（３）は８極子磁場フィールド（７，８）および４極子フィールドを作るために使用され、前記全４つの多極子要素の４極子フィールドは連続的に互いに９０°回転しており、
第２（２）および第３の多極子要素（３）は、１２極子フィールド（２５，２６）を使用して、１２極子要素として設計され、追加の１２極子要素（１３）が、第２の（２）と第３の多極子要素（３）との間に挿入され、かつ、追加の１２極子要素（１３）には、８極子フィールド（１４）が１２極子フィールド（１５）によって重畳される。 （もっと読む）

【課題】必要とする構造上のスペースは格段に低減されており、虚軸領域において効果的な領域を生成し、高い精度で再現可能に製造される、粒子光学系における収差補正に適したマルチポールコイルを導入すること
【解決手段】マルチポールコイルの巻き線はウィンドウを形成し、外面方向における当該ウィンドウの幅は二次的な干渉領域が形成されないように選択されており、軸方向におけるその長さは少なくとも当該幅に相当するマルチポールコイル。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡使用のためのモノクロメータに関する。
【解決手段】望ましいエネルギー幅（７）の荷電粒子を選別するための選別アパーチャー（６）の面（５）に散乱（４）を作成するための静電偏向フィールド（２’，３’）を備えた、少なくとも１つの第１の偏向エレメント（２，３）と、前記少なくとも１つの第１の偏向フィールド（２’，３’）の散乱（４）を打ち消す、静電偏向フィールド（８’，９’）を備えた、少なくとも１つの第２の偏向エレメント（８，９）とを有する、荷電粒子光学のための、特に、電子顕微鏡使用のためのモノクロメータに関する。 （もっと読む）

本発明は、電子光学的な画像形成のための位相板に関する。本発明では０次ビーム（４）の位相がシフトされ、これによって、回折された電子ビーム（５、５’）との干渉によって、できる限りコントラストの高い画像が得られる。回折された電子ビーム（５、５’）の陰影部分はできるだけ少なく保たれるべきであり、得られた画像データから復元されない陰影部分は阻止されるべきである。これは次のことによって実現される。すなわち、電極（１’）が遮蔽された導体（７）として構成され、この導体が固定部（８）から実質的に放射状に０次ビーム（４）の領域へ延在して配置さることによって実現される。ここで遮蔽された導体（７）は、０次ビーム（４）の領域前に終端部（９）を有しており、これによって導体（７）と当該導体を取り囲んでいる遮蔽部（１０）との間に電界（６）が形成される。ここでこの電界は当該領域を検出する。本発明はさらに、画像を完全に復元する結像方法並びに、位相板（１）が備えられた電子顕微鏡（１２）に関する。
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隣接するヘクサポールフィールド間に丸形レンズデュプレットが設けられ、丸形レンズデュプレットは真ん中のヘクサポールフィールドがそれ以外のヘクサポールフィールド上に結像されるように調整され、調整時にヘクサポールフィールド間に中間面が位置するようになり、中間面は相互に共役となり、３つのヘクサポールフィールドはラーモア関係系内で同じ方向に配向され、３つのヘクサポールフィールドの各強度は３数値非点収差が０になるようにされ、補正器はヘクサポールフィールド対のフィールドが非対称に相互に励起される２つのヘクサポールフィールド対を有し、対は両中間面を中心にして設けられ、ヘクサポールフィールド対の配向はヘクサポールフィールドによって定義された配向に対して３次の光軸外コマ収差が補正されるような角度だけ回転される。
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【課題】本発明は、電子ビーム用の開孔が任意の長さの次元であり、且つ、無収差結像を形成するレンズ装置を開発することを課題とする。
【解決手段】円柱レンズに、磁場型レンズが組み合わされており、該磁場型レンズを用いて４極磁場が形成可能であり、レンズは、僅かな間隔又は間隔なしに相互に配設されており、レンズの光軸は、相互に平行であり、磁場型４極子レンズは、間隙状の開孔を有しており、該開孔は、円柱レンズの開孔に対して平行に配向されており、光軸を包囲する４極子レンズの集束面は、開孔の長手軸並びに当該４極子レンズの焦点はずれ面に平行に、長手軸に対して垂直に配向されており、円柱レンズの屈折力は、４極子レンズの屈折力の２倍の大きさに調整可能である。 （もっと読む）