【課題】耐熱性の高い薄膜型電子源を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板の一主面側に形成された下部電極と、前記下部電極に接触して形成された絶縁層と、前記絶縁層に接触して形成された上部電極とを備えた薄膜電子源において、前記上部電極を、第一下地層，第二下地層，中間層，表面層の積層構造とし，前記第一下地層はＩｒＯ₂ またはＲｕＯ₂ を主構成材料とし、前記第二下地層はＩｒまたはＲｕを主構成材料とし、前記中間層はＰｔＩｒ，ＰｔＲｕ，ＰｔＲｈの群から選ばれる一種類を主構成材料とし、前記表面層は、Ａｕ，Ａｇの群から選ばれる一種類を主構成材料とする。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾から光エネルギの付与までの時間を管理することなく、容易に精度に
優れた微細な径の柱状体を形成する。
【解決手段】柱状体を形成する部位に、ＣＷレーザやパルスレーザを照射して光エネルギ
を付与する状態にする。そして、光エネルギを付与する状態で、液滴吐出ヘッド１から、
柱状体を形成する部位に液滴Ｌを次々と吐出して塗布することを繰り返して柱状体Ｔを形
成する。 （もっと読む）