【課題】 カーボンナノチューブで構成されるスクリーン印刷可能なペーストを使用して、ペーストを印刷し、電子電界エミッタを形成する工程を含む陰極アセンブリを作製する方法を提供すること
【解決手段】 電子電界エミッタを形成するためにカーボンナノチューブが固形分の総重量に対して９重量パーセント未満を占める、固形分にカーボンナノチューブを含むスクリーン印刷可能なペーストを使用して電子電界エミッタを形成することにより、該電子電界エミッタを含んだ陰極アセンブリを作製すること、または、さらに材料と電子電界エミッタを接触させ、その材料を剥離し電子電界エミッタの一部を除去するか、あるいは電子電界エミッタを再配列させ、電子電界エミッタの新たな表面を形成する工程を含むことを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブが固形分の総重量に対して９重量パーセント未満を占めるペースト使用し、電子電界エミッタを形成し、材料と前記電子電界エミッタとを接触させ、その後、材料を剥離して、電子電界エミッタの新たな表面を形成する電子電界エミッタの製造方法を提供する。
【解決手段】 固形分の総重量に対して９重量％未満、好ましくは０．０１から２重量％のカーボンナノチューブを含むペースト、或いは、０．０１から６．０重量％のカーボンナノチューブ、４０〜７５重量％の銀微粒子及び３〜１５重量％のガラスフリットを含むペーストを用いて、電子電界エミッタを形成し、材料を電子電界エミッタに密着接触し、その後、剥離して電子電界エミッタの一部を除去するか、あるいは前記電子電界エミッタを再配列させ、前記電子電界エミッタの新たな表面を形成し、カーボンナノチューブで構成される電子電界エミッタを製造することを特徴とする方法 （もっと読む）

【課題】 ナノチューブなどの針状炭素で構成されるエミッタペーストを使用するなど、「ランダムなエミッタの集合」を用いる必要のある電子電界エミッタ形成方法に必ず伴う大きな欠点の放出のホットスポットを最小限に抑えること。
【解決手段】 陽極電圧を正常動作陽極電圧レベルより上に維持しつつ電子電界エミッタにおいて放出のホットスポットを減らすための方法であって、反応性ガスとして酸素を用い、電子電界エミッタをその酸素に暴露することを含むことを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】 寸法が１００μｍ未満の三極管を製造する際に、全面スクリーン印刷で達成できる精度および解像度の限度があるのを解消するとともに、電気的な短絡の防止、多層形成時の異なるスクリーンの位置合わせ精度の低下などの問題を解決すること。
【解決手段】 ゲート三極管には、フィールドエミッタの陰極と陽極との間に物理的なゲート電極があり、反転ゲート三極管には、ゲートと陽極との間に物理的なフィールドエミッタ陰極がある。微粒子の形で銀または誘電体に加えて、少量の低融点ガラスフリットが光重合開始剤および光モノマーなどの光画像形成型成分を含む有機媒体中に含有されているＦｏｄｅｌ(R)銀および誘電体ペースト組成物（それぞれＤＣ２０６およびＤＧ２０１など）などの光画像形成型の厚いフィルム配合物を均一な層を厚さを調節しながら基板にスクリーン印刷し、所望のパターンを含む接触型フォトマスクをフィルムと相互に接触させて配置し、紫外（ＵＶ）線に暴露する。次に、このフィルムを弱い炭酸ナトリウム水溶液中にて現像し、これらのスクリーン印刷された厚いフィルムに光画像形成処理を施す光画像形成型の厚膜法により１０μｍと小さい造作寸法を達成する。 （もっと読む）

【課題】電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される、量産性に優れ入手の容易な遷移金属炭化物を用いた高輝度電子源を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡、電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される電子源であって、電子放出部分は表層部と基材部からなり、該表層部は遷移金属炭化物であり、該基材部はダイヤモンド単結晶であることを特徴とする電子源により解決される。 （もっと読む）

本明細書では、特に高周波応用のための三極管型電界放出デバイス（１１）が開示される。このデバイスは、陰極電極（１２）、陰極電極（１２）から間隔を空けられた陽極電極（１４）、陽極電極（１４）と陰極電極（１２）との間に配列された制御ゲート電極（１３）、および少なくとも電界放出先端部（１９）を有する。陰極電極（１２）、制御ゲート電極（１３）、および陽極電極（１４）は、電界放出先端部（１９）の三極管区域（１１ａ）においてオーバーラップし、電界放出先端部と連携して三極管区域において電子ビームを生成するように動作可能である。陰極電極（１２）、制御ゲート電極（１３）、および陽極電極（１４）は、三極管区域（１１ａ）の外側でオーバーラップせず、それぞれの線（ｘ，ｙ，ｚ）に沿った主となる長手方向を有する。これらのそれぞれの線（ｘ，ｙ，ｚ）の各々は、相互に関して非ゼロの角度で傾斜している。
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【課題】従来の電子放出素子よりも少ない工程で製造され、単位面積あたり均一に電子を放出する電子放出素子を提供する。
【解決手段】長さ３μｍを超える金属酸化物からなる突起形状が、金属酸化物面上の１ｍｍ×１ｍｍの面積あたり５〜１０００００個の密度で存在し、かつ長さ３μｍを超える金属酸化物からなる任意の突起形状１００個の和平均長さをχ、標準偏差をσとした場合、χ≧５μｍ、かつχ＋σ／２以上の長さを持つ突起形状の最大長さをＬ_max 、最小長さをＬ_min とした場合、１≧Ｌ_min ／Ｌ_max ≧１／３であることを特徴とする金属酸化物からなる電界放出型電子放出素子。 （もっと読む）

陰極構造（１２）、陰極構造（１２）から離間された陽極構造（１３）および制御格子（１５）を含み、陰極構造（１２）および陽極構造（１３）は個別に形成されると共にスペーサ（１４）を挿設して一緒に接合され、ならびに、制御格子（１５）が陽極構造（１２）に組み込まれている、高周波、冷陰極、三極管タイプ、フィールドエミッタ真空管が本明細書において開示されている。
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【課題】電界放出素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０と、基板１１０上に形成されるものであり、基板１１０を露出させるスロット状のカソードホール１１３を持つ複数のカソード電極１１２と、カソードホール１１３それぞれを通じて露出された基板１１０上に設けられるものであり、カソードホール１１３の両側から離隔してカソードホール１１３の長手方向に沿って形成されるエミッタ１３０と、カソード電極１１２を覆うように基板１１０上に形成されるものであり、カソードホール１１３と連通する絶縁層ホール１１５を持つ絶縁層１１４と、絶縁層１１４上に形成されるものであり、絶縁層ホール１１５と連通するゲートホール１１７を持つ複数のゲート電極１１６と、を備える電界放出素子。 （もっと読む）

【課題】面型で高出力の電子放出を実現することができるとともに、耐久性に優れ、長期に亘って安定的な電子放出を実現することのできる電界放出電子源及びその製造方法を提供する。
【解決手段】電界放出電子源１は、基板２を具備している。基板２には、配線層３が形成されており、配線層３の上には絶縁層４が形成されている。絶縁層４には、複数の貫通孔５が設けられており、これらの貫通孔５内に導電性ビアプラグ６が配設されている。絶縁層４及び導電性ビアプラグ６の上部を覆うようにダイヤモンド層７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブを含むスクリーン印刷可能な電子電界エミッタ製造用のペーストを提供する。
【解決手段】 固形分の総重量に対して９重量％未満、好ましくは０．０１から２重量％、のカーボンナノチューブを含むペースト、或いは、０．０１から６．０重量％のカーボンナノチューブ、４０〜７５重量％の銀微粒子及び３〜１５重量％のガラスフリットを含むペースト。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板材料の選択範囲が広く、フィールドエミッタの均一性が良好で、炭素ナノチューブの利用効率が高い炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタは、基板と、該基板に成長された複数の炭素ナノチューブのマトリックスのシートと、を含む。前記炭素ナノチューブのマトリックスのシートは、第一端部及び該第一端部に対向する第二端部を有する。前記第一端部は炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタの電子放出端部として、前記基板から離れるように設置される。前記第二端部は、前記基板に電気的に接続される。本発明は、炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタの製造方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】極めて低い「ターンオン」放出電界を示す電子エミッタを提供すること。
【解決手段】表面上にカーボンナノチューブ微粒子を含む電子エミッタ。カーボンナノチューブ微粒子は、絡み合った小径カーボンナノチューブを含み、小径カーボンナノチューブは、０．５ｎｍ〜３ｎｍの範囲の外径を有し、カーボンナノチューブ微粒子は、０．１ミクロン〜１００ミクロンの範囲の断面寸法を有する。 （もっと読む）

本発明は、粒子ビームシステム（１０−１０’’’’、１２−１２’’）を作製する方法に関するものであり、一つの第１基板１４の上にコンピュータ制御された粒子ビーム誘発して堆積させることにより少なくとも一つの第１粒子ビームシステム１０−１０’’’’が作製され、少なくとも一つの第２基板１６の上に第２粒子ビームシステム１２−１２’’が、少なくとも一つの第１粒子ビームシステム１０−１０’’’’からコンピュータ制御の粒子ビーム誘発して堆積させることにより作製される。本発明の方法により多数の粒子ビームシステムを比較的短時間で作製できる。
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【課題】 高い効率で電子を放出することができる電子放出装置を提供すること。
【解決手段】 電子放出装置１０は、下部電極１２と、誘電体からなるエミッタ部１３と、貫通孔１４ａを有する上部電極１４と、を備え、下部電極と上部電極との間に駆動電圧が付与されることによりエミッタ部から上部電極を介して電子を放出する。貫通孔１４ａの平均径は１０ｎｍ以上、且つ、１００ｎｍ未満である。これにより、各貫通孔１４ａ直下に多くの電子を蓄積することができ、且つ、より多くの貫通孔１４ａを上部電極１４に形成できる。 （もっと読む）

ナノ構造炭素材料を容易にかつ様々な基材上に形成し得る製造方法を提供する。前記製造方法として、導電層が形成された基材上にリソグラフィによりナノ構造炭素材料をパターニングするパターニング工程を有する電子放出源の製造方法であって、前記パターニング工程は前記導電層上にナノ構造炭素材料を形成するナノ構造炭素材料形成工程を含み、このナノ構造炭素材料形成工程が、大気圧または大気圧近傍の圧力下で高周波電圧を対向する電極間に印加して放電プラズマを発生させる大気圧プラズマ法により行われることを特徴とする電子放出源の製造方法である。 （もっと読む）

基板上にナノ構造材料のパターニングされたコーティングを成膜する方法は、（１）前記ナノ構造材料を含む溶液又は懸濁液を形成する工程；（２）前記基板の少なくとも１つの表面の一部にマスクを形成する工程；（３）前記溶液中に電極を浸す工程であって、その上に前記電極の１つとして機能する前記ナノ構造材料が成膜されるか又は少なくとも前記電極の１つに電気的に接続される工程；（４）前記２つの電極の間に所定の期間の間、直流電流電界及び／又は交流電流電界を印加し、それによって前記溶液中のナノ構造材料を前記基板電極に向けて移動させて付着させる工程；（５）その後の随意的な処理を行う工程、を含む。
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レーザ又はプラズマで処理されたカーボンナノチューブマットを備えるフィールドエミッションデバイスを提供する。マットは、直径が約１ミクロン未満の虫くい状のカーボンデポジットである、カーボンフィブリルとしても周知のカーボンナノチューブから形成する。次いでカーボンナノチューブマットをレーザ又はプラズマで処理する。カーボンナノチューブマットをそのように処理することによって、フィールドエミッションカソードとしての、又はフィールドエミッションデバイスの一部分としてのフィールドエミッション性能が改善される。 （もっと読む）