【課題】処理効率が高く、簡単且つ低コストな改質方法および改質装置を提供する。
【解決手段】改質装置は、冷電子放出素子からなる面放射型電子源１を備え、この面放射型電子源１から放射される電子線を物体に照射することにより、その物体の特性や表面の改質を行う。冷電子放出素子からなる面放射型電子源１を用いているため、熱電子放出素子に比べて消費電力の低減、並びに電子放出までの立ち上がり時間が短縮でき、点又は線状の熱電子放出素子からなる電子源を用いる従来方法および従来装置に比較して、処理効率が高く、簡単且つ低コストな改質方法および改質装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】高スループット、高解像度、広い焦点深度が要求される電子線露光装置に用いることができる電子線露光用電子源を提供する。
【解決手段】電子線露光用電子源１は、面電子源部１０と、面電子源部１０の電子を収束する収束電極８とが、同一の素子形成基板１１に設けられている。面電子源部１０は、弾道電子面放出型の電子源により構成されている。収束電極８は、絶縁層９に埋設されており、表面電極７の側方に位置している。絶縁層９は、強電界ドリフト層６上と素子分離層３ｂ上とに跨ってパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第１の絶縁膜９ａと、第１の絶縁膜９ａと第１の絶縁膜９ａ上の収束電極８とを覆うようにパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第２の絶縁膜９ｂとで構成されている。 （もっと読む）