【課題】低いケイ素／炭素比を有するオーバーコートを提供すること。
【解決手段】情報記憶システムのスライダ。単一のオーバーコート層を備えるスライダであって、層は、フィルタ陰極アークプロセスによりスライダのＡＢＳ上に堆積し、層は、約１０％未満のＳｉ／Ｃ比を有すると共に、約１５Å未満の厚さを有する、スライダ。 （もっと読む）

【課題】ＲＩＥによる主磁極の腐食発生及び主磁極の膜厚ばらつきの防止が可能な磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本磁気ヘッドの製造方法は、基体６上に、主磁極１９となる磁性層、ストッパ層１７、下部マスク層、上部マスク層を形成する工程と、上部マスク層をパターニングして第１のマスクを形成する工程と、第１のマスクを用いて下部マスク層をパターニングして第２のマスクを形成する工程と、第２のマスクを用いてドライエッチングによりストッパ層１７と共に前記磁性層を端面が逆台形状となるように形成する工程と、第２のマスクをＲＩＥによって除去する工程と、第２のマスクが除去された積層体の上面を、ＣＯ系ガスを用いるＲＩＥによりドライクリーニングする工程とを備え、ストッパ層１７は、ＣＯ系ガスを用いるＲＩＥに対するエッチング耐性を有する軟磁性材料を用いて形成される。 （もっと読む）

【課題】サイドシールドの形成に際して、飽和磁束密度の高い材料を用い、且つ当該材料の腐食による障害発生の防止を可能とすることによって、サイドイレーズ磁界の増加を抑制しつつ、記録磁界を増加させることが可能な磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気ヘッド１は、記録媒体に記録用磁界を印加する主磁極１９と、主磁極１９のクロストラック方向の両側にギャップ層１７を介して配置されるサイドシールド２０と、を備え、各サイドシールド２０は、異種材料を用いて、クロストラック方向に向かって多層となる構造に形成される。 （もっと読む）

【課題】主磁極に特性が良好な磁性材料の使用を可能としつつ、該主磁極の腐食障害を防止して、工程不良を回避することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法は、基板上に所定薄膜を順次積層して形成される記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、記録ヘッド部の基体上に記録用の磁極となる磁性層を形成する工程と、磁極の上にストッパ層を形成する工程と、ストッパ層の上に絶縁層を形成する工程と、ＣＭＰプロセスによりストッパ層の上面が表出するまで絶縁層を研磨する工程と、反応性ガス使用のドライエッチングにより磁極の上面が表出するまでストッパ層を除去する工程と、不活性ガス使用のドライエッチングにより所定深さまで磁極の上面を除去する工程と、ＣＭＰプロセスにより磁極の上面が平坦化されるまで研磨する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜構造体のコンタクト部と薄膜導体を同時に形成するときに、薄膜導体の成膜量を削減でき、かつ、膜厚ばらつきの少ない薄膜構造体のコンタクト形成方法を得る。
【解決手段】絶縁層を介して上下に積層した下部導電層と上部導電層を電気的に接続するコンタクト部と、上部導電層とは重複しない位置で絶縁層を介して下部導電層上に設ける薄膜導体とが同時に形成される薄膜構造体において、コンタクト部は、薄膜導体と同一材料により、下部導電層に接して上部導電層には接しない直線状の下部コンタクトと上部導電層に接して下部導電層には接しない直線状の上部コンタクトとが隣接して接続され、かつ、下部コンタクトの上面と上部コンタクトの上面との間に段差が生じるように形成される。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体の耐食性を有する軟磁性下地層、及び磁気記録ヘッドの軟磁性薄膜を成膜する。
【解決手段】基板１０１と、該基板１０１上に成膜される下地層１０４と、該下地層１０４上に成膜される磁気データ記録層１０６とを有する磁気記録媒体であって、前記下地層１０４は、少なくとも一つの軟強磁性元素、及びクロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭素（Ｃ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、マンガン（Ｍｎ）、窒素（Ｎ）、チタン（Ｔｉ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、タンタル（Ｔａ）、アルミニウム（Ａｌ）の元素群から選択した少なくとも一つの腐食防止元素を含んだ軟磁性合金からなるものである。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰの侵食から保護された垂直磁気記録用のＰ３磁極端構造、およびＣＭＰプロセスによる侵食から垂直磁気記録用のＰ３磁極端を保護する方法を提供する。
【解決手段】磁気ヘッドは、Ｐ３磁極端５２を含む、封止された被保護磁極構造８８を備えた書き込みヘッドを有する。保護層８２はＰ３磁極端５２の少なくとも一部を取り囲み、封止材料層７４は保護層８２の一部を取り囲む。この被保護磁極構造８８の作製に際し、イオンミリングを施した後または磁極のイオンミリングの後であるが、封止材料層７４を形成する前に、非磁性保護層８２を形成してＰ３磁極の側壁を包み込むことによって、ＣＭＰプロセスの間の化学的作用から磁極構造８０を保護する。 （もっと読む）

【課題】磁性層からなるめっきベース層のエッチバックにより磁極部側面に磁性層からなるサイドウォールが形成され、実効トラック幅が拡幅してしまう。
【解決手段】飽和磁束密度に磁化した第２磁性金属７を磁気記録媒体に接触させても、磁気記録媒体の保磁力以上の磁場を発生しない小さな飽和磁束密度を有する第２磁性金属７をめっきベース層２として使用する。めっきベース層２のエッチバックにより磁極部４側面に形成されたサイドウォール５は、飽和磁束密度が小さいため書込には影響しないので、トラック幅は磁極部４の幅で規定され、サイドウォール５によるトラック幅の拡幅が起こらない。 （もっと読む）

【課題】耐食性の向上及び素子部の静電破壊防止を実現でき、且つ、リターンヨーク形状の設計自由度を高める薄膜磁気ヘッド及びその製造方法を得る。
【解決手段】ＣＰＰ構造の再生素子と、主磁極層、リターンヨーク層及びコイル層を有する垂直磁気記録型の記録素子と、リターンヨーク層とグランドに導通した抵抗素子とを備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、リターンヨーク層と同一の積層高さ位置で導通するように少なくとも一部が該リターンヨーク層と同一の積層高さ位置に存在し、非磁性導電材料で形成された配線パターン層と、この配線パターン層の下方に各層の積層方向と直交する方向で積層形成され、配線パターン層と前記抵抗素子とを接続するコンタクト部とを設けた。 （もっと読む）

【課題】読み取りヘッド部と書き込みヘッド部とを同電位にできる、構造が簡単で、製造が容易な薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】前記読み取りヘッド部ＨＲの上部シールド層１６の上にコイル絶縁下地層１７が形成され、該コイル絶縁下地層１７の、第１コイル層１８を形成する領域よりもハイト方向位置に前記上部シールド層１６を露出させる接続穴１７ａが形成され、該コイル絶縁下地層１７の上に第１コイル層１８が形成され、前記接続穴１７ａの底となる前記上部シールド層１６上に第１コイル層１８と同一の非磁性材によって導電層３０が形成され、該第１コイル層１８および前記導電層３０を囲み、該導電層３０の上面を露出させて第１コイル絶縁層１９が形成され、該第１コイル絶縁層１９の上に前記導電層３０と導通させて主磁極２０のヨーク部３１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】特に、発熱体のエレクトロマイグレーションの発生を抑制し、さらに、前記発熱体の温度依存性を小さくすることが可能な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的としている。
【解決手段】発熱体２０を発熱導体層２１と、高融点材料層２２，２３との積層構造にする。これにより前記発熱導体層２１のエレクトロマイグレーションを抑制できる。また発熱導体層２１を例えばＣｕＮｉで形成し、高融点材料層２２，２３をＲｕで形成すると、ＣｕＮｉとＲｕは、抵抗変化率の温度依存性が逆の傾向であるため、前記発熱体２０全体の抵抗変化率の温度依存性を適切に小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】記録素子及び再生素子間のクロスーク、外来ノイズによる再生素子劣化及びエラーの発生を抑制した薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置を提供する。
【解決手段】スライダ基体１及び第１のシールド層３１の間において、第１の絶縁層１６を容量層として発生する寄生容量Ｃ４と、下部磁性層２１及び第２のシールド層３３の間において、第３の絶縁層３４を容量層として発生する寄生容量Ｃ２とが、実質的に等しい。下部磁性層２１とスライダ基体１との間を、好ましくは、１００（Ω）以下の抵抗Ｒ１で接続する。 （もっと読む）

【課題】 平坦化特性に優れ、研磨後の表面が腐食しない研磨液を得る。
【解決手段】 研磨材（Ａ）、還元剤（Ｂ）及び水（Ｃ）からなる研磨液を用いる。研磨材（Ａ）、還元剤（Ｂ）及び水（Ｃ）の合計重量に基づいて、研磨材（Ａ）の含有量は１０〜５０重量％、還元剤（Ｂ）の含有量は１〜３０重量％、水（Ｃ）の含有量は２０〜８９重量％が好ましい。還元剤（Ｂ）はＬ−アスコルビン酸又はイソアスコルビン酸が好ましい。研磨材（Ａ）はコロイダルシリカが好ましい。研磨液のｐＨ（２５℃）は０〜４が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 優れた軟磁性特性を有することにより薄膜磁気ヘッド等に有効に使用することができる軟磁性膜、またこの軟磁性膜を用いた薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 書き込みギャップ層３７を挟んで配置される下部磁極３４と上部磁極３５とを備える薄膜磁気ヘッド３２において、前記書き込みギャップ層３７に、強磁性元素を含む磁性下地層３８と、強磁性層３５ａと、上部磁極３５が積層して形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加熱体である通電部の端子が磁極の防食をし、端子数が少なく、小型化された薄膜磁気ヘッドスライダにも実装可能な熱式浮上量調整スライダを提供することにある。
【解決手段】加熱体である通電部と、磁気記録素子と、磁気再生素子とを備えた薄膜磁気ヘッドスライダであって、前記通電部の端子は、水溶液中における標準電極電位が前記磁気記録素子および前記磁気再生素子よりも高い導体から形成され、かつ、その片方を下部磁極に電気的に接続することにより、加熱装置用中継端子が磁極の腐食を防止する役割を兼用する。 （もっと読む）

【課題】 垂直磁気記録方式のヘッドにおいて、記録磁界を維持するために主磁極形状は逆台形であることが好ましいが、この時、磁気ヘッドの主磁極の保護膜のつき回りをよくし、信頼性を確保する。
【解決手段】主磁極を保護する保護膜の形成時に、スパッタ装置でバイアスをかけて成膜するか、あるいは、カルーセル型スパッタ装置やケミカルベーパーデポジション（CVD）法で成膜する。 （もっと読む）

【課題】外部磁界による媒体の信号の消去を抑制しつつ、浮上面加工の際に主磁極を腐食しないヘッドを供する。
【解決手段】浮上面加工時に主磁極１２に電位を与える防食用電極１５を設けることで主磁極の腐食を防ぎ、その防食用電極に接続する導体(防食接続線)１６に非磁性体を用いることにより、外部磁界１３が主磁極１２に集まり、放出される漏洩磁界１８を少なくすることで媒体上の信号を消去することを抑制する。また、上部コアより防食用電極に接続される配線を接続することで、コイル９と記録端子１１９を接続する配線と同じ配線層で形成でき、製造工程を簡略化することができる。 （もっと読む）

【課題】スライダの凸部（レール部）の平滑度のばらつきを抑える。
【解決手段】スライダの記録媒体対向面に仮保護膜を形成するステップ（ステップ５４）と、仮保護膜が形成された記録媒体対向面の表面の一部を除去して、薄膜磁気ヘッド素子部が記録媒体に読み込みまたは書き込みをおこなう際のスライダの記録媒体に対する浮上量を制御する凹凸部を記録媒体対向面に形成する凹凸部形成ステップ（ステップ５５）と、凹凸部が形成された記録媒体対向面から仮保護膜を除去する仮保護膜除去ステップ（ステップ５６）とを有している。 （もっと読む）