【課題】 小型化、軽量化およびコストダウン化が図れるようにした低振動の振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 可動部２７と、この可動部２７を電磁力で往復駆動させる電磁駆動部２８とを備え、可動部２７と電磁駆動部２８とを本体ケース３０内に往復動可能に収納して、この本体ケース３０内で、可動部２７と電磁駆動部２８とを逆位相で往復動させることにより、可動部２７と逆位相で往復動する電磁駆動部２８が振幅制御錘の役割を兼ねるから、振幅制御錘を別に配置する必要が無くなるので、振幅制御錘を配置するためのスペースが不要となって小型化でき、振幅制御錘自体も不要となって軽量化やコストダウン化が図れるようになる。 （もっと読む）

１基又は２基以上の極低温冷凍システム用の圧力波発生器（４０）。圧力波発生器（４０）は、１つ又は２つ以上の入口／出口ポート（５７，５８）を備えたハウジングを有し、発生したガスの圧力波がかかる入口／出口ポート（５７，５８）を通過して入口／出口ポート（５７，５８）に連結されている１基又は複数基の極低温冷凍システムを駆動することができる。圧力波をハウジング内に設けられている少なくとも１対の互いに反対側のダイヤフラム（４１，４２）によって生じさせ、これらダイヤフラム（４１，４２）は、各ダイヤフラム（４１，４２）と関連したガス空間（５５，５６）内に圧力波を生じさせるようハウジング内で往復動状態で動くことができる。ガス空間（５５，５６）は各々、圧力波が通ることができる関連の入口／出口ポート（５７，５８）を有する。１対のダイヤフラム（４１，４２）を往復動状態で動かすよう動作可能な駆動システムも又、設けられている。
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【課題】
複数の重ね合わされた被接合物が接合される超音波接合装置の共振器において、従来、振動が安定しなかったり、振動ロスが大きい構造であった。また、接触面の劣化により連続運転ができない課題があった。
【解決手段】
そこで本発明は、保持部をノーダルポイントに近ずけ外周より内没させ、かつ、一波長、一体構造、回転対象な形状とすることで振動を安定させることができる。また、共振器接触面を多角形としてロータリー構造とすることで、自動交換でき連続運転に耐えうる超音波接合方法と装置を提供する。
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【課題】発熱体層における各パッド近傍部位の破壊を防止でき、長期間にわたって超音波域の圧力波を安定して発生可能な圧力波発生素子を提供する。
【解決手段】支持基板としてのシリコン基板からなる半導体基板１と、半導体基板１のの一表面側に形成された発熱体層３と、半導体基板１の上記一表面側で半導体基板１と発熱体層３との間に介在する多孔質シリコン層からなる熱絶縁層２と、発熱体層３の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッド４，４とを備え、一対のパッド４，４を介した発熱体層３への通電に伴う発熱体層３と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの間に介在し発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの反応を防止する一対のバリア層５，５を設けてある。 （もっと読む）