Fターム［5F031HA53］の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理時の固着、保持 (16,861) | ステージ、チャック、サセプタ (15,090) | 動作 (3,584) | 微動テーブル（精密位置決め） (1,086)
Fターム［5F031HA53］の下位に属するFターム
微動テーブルの振動の抑制、除去 (145)
Fターム［5F031HA53］に分類される特許
941 - 941 / 941
出力電流制御装置、ステージ装置、露光装置、およびこの露光装置により製造したデバイスおよびデバイスの製造方法
【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。
（もっと読む）
941 - 941 / 941
[ Back to top ]