説明

Fターム［5F046CA00］の内容

半導体の露光（電子、イオン線露光を除く） (57,085) | 紫外線、光露光用光源 (1,163)

Fターム［5F046CA00］の下位に属するFターム

ランプ (221)
レーザ (726)
光源の移動、回転、位置決め (16)
光源の光波長 (110)
ＣＲＴ、マトリックス状 (11)
その他 (79)

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