【課題】基板面内で細かく設定したエリア毎の露光量を調整し、現像処理後のレジスト残膜の均一性を向上し、配線パターンの線幅及びピッチのばらつきを抑制する。
【解決手段】基板搬送路２の上方において、基板搬送方向に交差する方向に配列された複数の発光素子Ｌを有する光源４と、前記光源を構成する複数の発光素子のうち、１つまたは複数の発光素子を発光制御単位として選択的に発光駆動可能な発光駆動部９と、前記被処理基板が前記光源の下方を搬送されない状態で、前記被処理基板に対する前記光源からの光照射位置に沿って基板幅方向に進退可能に設けられ、前記光源により照射された光の照度を検出する照度検出手段３１と、前記照度検出手段が検出した照度と前記発光素子の駆動電流値との関係を相関テーブルＴ２として記憶すると共に、前記発光駆動部による前記発光素子の駆動を制御する制御部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持するカセット８１とを備え、複数のカセット８１が配設された支持体８２の前面側の４隅には、支持体８２に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する支持体用緩衝部材８８が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、光源部７３には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材８８、８９が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、カセット８１には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材１０１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】ランプハウス内に格子状に配置された複数の紫外線照射部のメンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】マイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が収容されたランプハウス１１からモジュール化された紫外線照射部１００を構成する。紫外線照射部１００から放射される紫外線は、リフレクタ２１１，２１２を用いて集光または拡散させながら照射室２００に配置される被照射体に照射させる。紫外線照射部１００と照射室２００は、紫外線は通過し、マイクロ波は遮蔽する電磁シールド２４が配置される。格子状に配置の紫外線照射部１００の何れかのメンテナンスを行う場合、行方向に選択的に紫外線照射部１００を取り出すようにした。 （もっと読む）

【課題】発熱量を低減し、また、光の回折の影響を低減できる露光装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハーやＴＦＴＬＣＤ基板に回路を描くのに用いられる露光装置１００は、ケース１１０と、ケース１１０内部に収容され、透明部材で構成する上面カバー１１１から外部にＵＶ波長範囲の光を直進形態で照射する複数個のＬＥＤ１２０と、ＬＥＤ１２０に印加される電源を供給する電源印加部１１０とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、複数の紫外光ＬＥＤから発した光を効率的に集光することができる露光機用光源装置を提供する。
【解決手段】平面基板の表面上に縦横に敷設された複数の紫外光ＬＥＤと、前記各紫外光ＬＥＤにそれぞれ対応して設けられた複数のレンズと、当該複数のレンズを保持するレンズ保持部材と、を備えており、前記各紫外光ＬＥＤの光軸Ａと、前記各紫外光ＬＥＤに対応して設けられたレンズの光軸Ｂとが、前記平面基板の表面に対して垂直であり、前記各紫外光ＬＥＤのうち、その光軸Ａが前記平面基板の表面と同一平面上に設定した所定の点を通るものでは、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとが一致し、前記各紫外光ＬＥＤのうち、その光軸Ａが前記所定の点を避けて通るものでは、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとが、前記所定の点に近い方から、光軸Ｂ、光軸Ａの順に並んでおり、前記紫外光ＬＥＤのうち前記所定の点から遠いものほど、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとの間が離れているようにした。 （もっと読む）

【課題】光強度の均一性および量が向上した、改善されたライトガイド露光デバイスを提供する。
【解決手段】アレイ幅を画定する単一のアレイに配置された発光ダイオード、および近位端および遠位端を有する可撓性のライトガイドを備えるライトガイド露光デバイスで、近位端は近位端直径を画定する。アレイ２は、実質的に全ての光をアレイ２から近位端に送るためにライトガイドの近位端と実質的に整列して配置される。発光ダイオードと近位端の間に光学要素が全くないため、発光ダイオードから近位端に送られる光の強度が低下することがない。アレイ幅は実質的に近位端直径に等しい。 （もっと読む）

【課題】 静電気による破損を防止することができる照明光源装置を提供する。
【解決手段】 複数の単位固体光源を有し当該複数の単位固体光源からの照明光によって擬似面光源を形成する光源ユニット２１と、前記光源ユニットを収納する格納容器２４とを備え、前記格納容器は、アースされている。 （もっと読む）

【課題】 大きな光照射領域が得られると共に、複数の光源ユニットにより形成される発光部の構造が簡素なものである光照射装置、大きな光放射領域が得られると共に、複数の光源ユニットにより形成される発光部の構造が簡素なものであり、かつ冷却機構が設けられてなるものであっても、その構造が簡素なものである光照射装置を提供する。
【解決手段】 光照射装置は、超高圧水銀ランプと、点灯装置と、反射鏡とを備えた光源ユニットが複数配設されてなり、複数の光源ユニットの各々から投射されて重なり合った光が光照射領域に照射され、複数の光源ユニットは、互いに隣り合うもの同士が反射鏡が接触するよう配置され、反射鏡の各々が金属よりなるものであり、この反射鏡にその一端が超高圧水銀ランプにおける反射鏡の光投射口側に接続された給電線が接続されることにより、点灯装置から超高圧水銀ランプに電力を供給するための給電路が形成される。 （もっと読む）

【課題】 多重描画形式の描画装置および描画方法において、描画ヘッドの取付角度誤差やパターン歪みの影響による解像性や濃度のむらを軽減する。
【解決手段】 ２次元状に配された多数の使用可能画素を有する画素アレイを備えた描画ヘッド３０であって、上記使用可能画素の画素列方向と描画ヘッド３０の走査方向とが所定の設定傾斜角度をなす描画ヘッド３０に関し、使用画素指定部１４０や設定変更手段１５０等から構成される使用画素設定手段により上記多数の使用可能画素のうちのＮ重描画に使用する使用画素が実動するように設定する。その後、露光ヘッド３０をステージ１４に対して相対移動させながら、上記設定により指定された使用画素を実動させて描画面上に描画を行なう。 （もっと読む）