【課題】高精度のリソグラフィシミュレーションを簡易な方法で行うことが可能なシミュレーション方法を提供する。
【解決手段】第１の関数及び第２の関数を用いたシミュレーションによりレジスト像を求めるリソグラフィシミュレーション方法であって、シミュレーションによりレジスト像を求める工程は、マスクレイアウトからマスク透過関数を求める工程Ｓ２と、マスク透過関数を第１の関数を用いて変調し、変調されたマスク透過関数を求める工程Ｓ３と、変調されたマスク透過関数を用いてマスクレイアウトの光学像を求める工程Ｓ４と、光学像に第２の関数を作用させてマスクレイアウトのレジスト像を求める工程Ｓ５とを備える。 （もっと読む）

【課題】直ちに実機にインストールして実行可能なプログラムを用意せずとも、新規機能の有用性の確認テスト及び実機の動作テスト結果を得ることができる試験システム、試験方法、及び試験プログラムを提供する。
【解決手段】処理装置１０は、オペレーティングシステムが実装されたメイン制御システム１１と、メイン制御システム１１の制御の下で動作する動作部１３とを備え、オペレーティングシステム上で実行可能なシーケンスプログラムＰ１を実行することによって動作部１３を動作させることが可能である。端末装置２０は、処理装置１０に接続されて、メイン制御システム１１に実装されたオペレーティングシステムとは異なる第２オペレーティングシステムが実装され、このオペレーティングシステム上で実行可能な試験プログラムＰ２を実行することにより処理装置１０の動作部１３を動作させる。 （もっと読む）