【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器１０は、軸線方向へ整列する２つの放電管１ａ、２ａ、１ｂ、２ｂ、１ｃ、２ｃをそれぞれに有する３つの放電管列３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ５と、放電管１ｃの一端に配置される出力鏡１１を備えるエンドプレート１５と、放電管２ａの一端に配置されるリア鏡１２を備えるエンドプレート１６と、両端がそれぞれエンドプレート１５、１６に固定された４本の支持棒２１〜２４とを備える。放電管連結ホルダ５は、クランプ（剛性部材）２５を介して下側の支持棒２１、２２に固定され、クランプ（弾性部材）２６、２７を介して上側の支持棒２３、２４に連結される。 （もっと読む）