【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N／（Ｗｅ／２）^N＋ｙ^N／ｈ^N＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅaveが３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー（反射面）の熱を効率良く冷却することができ、またレーザ発振装置内部にミラーを配設する際に生じ得るミラー配設の制限を緩和することができる、レーザ発振装置を提供する。
【解決手段】本発明に係わるレーザ発振装置１００は、装置内部に存するレーザ経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面２０を有するミラー（たとえば、第一の折り返しミラー５）を、備えている。さらに、当該反射面２０の背面の少なくとも一部は、反射面２０を冷却することが可能な冷却水路２３の壁面の一部を構成している。 （もっと読む）

【課題】 必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置。【解決手段】 細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³ 以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N ／（Ｗｅ／２）^N ＋ｙ^N ／ｈ^N ＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave ＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅave が３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって安定した出力のレーザ光を出射させることができるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１は、レーザ媒質ガスを収容させるレーザ媒質収容室１０２を備えた筐体１０１と、筐体１０１の壁面に設けられた第１レーザウインドウ１０４と、レーザ媒質収容室１０２にレーザ媒質ガスを供給するガス供給装置１１４とを有する。レーザ媒質ガスを励起させることにより発生させたレーザ光を第１レーザウインドウ１０４から筐体１０１の外へ出射させる。レーザ媒質収容室１０２の内圧をレーザ発振状態において調整するための圧力調整バルブ１１７を少なくとも有し、レーザ発振状態において、ガス供給装置１１４により、レーザ媒質ガスがレーザ装置１の外部からレーザ媒質収容室１０２に供給される。 （もっと読む）

【課題】高繰返し率で高いパワーを有するガス放電レーザ光源電極を提供する。
【解決手段】ガス放電レーザを作動する方法及び装置を開示し、これは、ハロゲンを含むレーザガスを収容するレーザチャンバと、カソード及びアノードを形成する２つの細長い電極要素とを含むことができ、カソード及びアノードの各々は、レーザガス内の電極要素間の電気放電の幅を定める放電受容領域幅を有する細長い放電受容領域を有し、放電受容領域は、２つの縦方向縁部を形成し、アノードは、アノードの放電受容領域内に全体が位置して第１のアノード材料侵食速度を定める第１のアノード材料を含む第１の細長いアノード部分と、第１のアノード部分の各側及び少なくとも部分的に放電受容領域内にそれぞれ位置して、第２のアノード材料侵食速度を定める第２のアノード材料を含む一対の第２の細長いアノード部分と、第１の細長いアノード部分と一体を成す細長い電極中心基部部分とを含み、第２の細長いアノード部分のそれぞれの対の各々は、中心基部部分に機械的に接合されている。 （もっと読む）