Fターム[5F157CB29]の内容
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Fターム[5F157CB29]に分類される特許
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ウェハのスタックから複数のウェハを個別に分離する方法
本発明は、ウェハのスタックをマイクロ波チャンバ中に載置し、ウェハをマイクロ波に曝してウェハ間の水分を蒸発させることによって、ウェハのスタックから複数のウェハを個別に分離する方法に関する。
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