【課題】検出センサの設置スペースを縮小しつつ部品点数を削減する検出センサの固定用金具を提供すること。
【解決手段】長尺状に形成された検出センサをネジにて取付面に固定するための固定用金具であって、前記検出センサに沿って延び、下面が前記取付面と接し、上面が前記検出センサと接し、するベース部材と、前記ベース部材の短手方向の両端から反取付面方向に沿って延びる一対のガイド部と、前記ベース部材からその長手方向に沿って延出形成され、前記ネジが挿通される取付孔が形成された固定部と、前記固定部の上方に弾性支持され、前記ネジが挿通される挿通孔が形成された弾性部と、前記検出センサ上面に配置され、前記検出センサを前記ベース部材に向かって押圧する押圧部と、を備えた （もっと読む）

【課題】ケーブルの曲げ強度を確保し、冷却水や工作油の基板への到達を抑制し、且つスパッタ等からの保護を確実に図ることを可能とする位置検出スイッチを提供する。
【解決手段】
スパッタカバー受部１２ａの表面には、その斜め方向に突出するケーブル保持部２６が該スパッタカバー受部１２ａと一体的に形成され、前記ケーブル保持部２６には、その突出方向に沿って外部から凹部２０に貫通する孔２８が設けられている。ケーブル１６は、前記孔２８を介して凹部２０に案内される。また、前記スパッタカバー受部１２ａの表面は、略全面にわたってスパッタカバー１８で覆われている。さらに、前記スパッタカバー受部１２ａと基板収容部１２ｂとの間に形成された溝部２４には、パッキン２２が収容されている。 （もっと読む）