【課題】発熱を抑制できると共に、発生した磁気ノイズ及び外部から伝わる磁気ノイズを遮蔽できる電気ケーブル、電力供給装置、基板処理装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】電力供給装置３１は、電気ケーブル３３と、電気ケーブル３３の長手方向における少なくとも一部を収容し且つ磁気ノイズを遮蔽する液体金属が収容される収容スペース３６が内部に形成される第１収容部材３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】導電体を用いた省エネルギーのワイヤケーブルに関し、特に、電力伝送の効果を高め、コストを低減し、ユーザの安全を守ることができる導電体ワイヤケーブルを提供する。
【解決手段】複数の金属又は合金で形成される導電体ワイヤケーブルは、単一（束）のワイヤケーブル又は二重（束）のワイヤケーブルを含み、導電体の少なくとも１つの束において、導電体の各束は、２又は３種類以上の金属又は合金からなる細い導電ワイヤ２１からなり、このワイヤは絶縁体２２によって覆われて導電体ワイヤケーブルを構成する。金属ワイヤケーブルの表皮効果を十分に用いて金属ワイヤケーブルの電力伝送量及び効率を高める。また、使用中のワイヤケーブルの温度を効果的に下げるために、通電での熱を抑えて金属を冷却する通気手段１を備える。 （もっと読む）